Silicon Dioxide wafer SiO2 wafer qaro weyn oo La dafiray, Heerka Koowaad iyo Imtixaanka

Silicon Dioxide wafer SiO2 wafer qaro weyn oo La dafiray, Sare iyo Tijaabada Sawirka Sifaysan

Sharaxaad Gaaban:

Xakamaynta kuleylka ayaa ah natiijada ka soo baxda silikoon silikoon isku-dar ah walxaha oxidizing iyo kulaylka si loo sameeyo lakabka silikoon dioxide (SiO2) .Shirkaddeenu waxay habeyn kartaa jajabyada silikoon dioxide oxide oo leh qiyaaso kala duwan oo macaamiisha ah, oo leh tayo aad u fiican;dhumucda lakabka oksaydhka, isafgaradka, lebbiska iyo jihaynta crystal resistivity ayaa dhamaantood loo fuliyaa si waafaqsan heerarka qaranka.

Email noogu soo dir

Faahfaahinta Alaabta

Tags Product

Soo bandhigida sanduuqa waferka

Alaabta	Heerarka Oksijiinta (Si+SiO2)
Habka wax soo saarka	LPCVD
Daalidda dusha sare	SSP/DSP
Dhexroorka	2inch/3inch/4inch/5inch/6inch
Nooca	Nooca P / nooca N
Dhumucda lakabka Oxidation	100nm ~ 1000nm
Hanuuninta	<100> <111>
Iska caabin koronto	0.001-25000 (Ω•cm)
Codsiga	Waxaa loo isticmaalaa qaadasha muunada shucaaca synchrotron, daahan PVD/CVD substrate ahaan, muunadda koritaanka sputtering magnetron, XRD, SEM,Awoodda atomiga, spectroscopy infrared spectroscopy, fluorescence spectroscopy iyo substrates baaritaanka falanqaynta kale, kobaca unugyada epitaxial substrates molecular, falanqaynta raajada ee semiconductors crystalline

Waferrada Silicon oxide waa filimaan silikoon dioxide ah oo lagu koray dusha sare ee waferrada silikoon iyadoo la adeegsanayo oksijiin ama uumiga biyaha heerkulka sare (800 ° C ~ 1150 ° C) iyadoo la adeegsanayo habka oksaydhka kuleylka leh qalabka tuubada foornada cadaadiska atmospheric.Dhumucdiisuna waxay u dhaxaysaa 50 nanometers ilaa 2 microns, heerkulka habka waa ilaa 1100 darajo Celsius, habka koritaanka waxaa loo qaybiyaa "oxygen qoyan" iyo "oxygen qalalan" laba nooc.Thermal Oxide waa lakabka oksaydh "koray", kaas oo leh lebbis sare, cufnaan ka wanaagsan iyo awood dielectric ka sarreeya lakabyada oksaydhka ee CVD, taasoo keentay tayada sare.

Ogsajiinta Qalalan

Silikoonku wuxuu la falgalaa ogsijiin iyo lakabka oksaydhku wuxuu si joogto ah ugu socdaa lakabka substrate-ka.oksaydhaynta qalalan ayaa loo baahan yahay in lagu sameeyo heerkul ka bilaabma 850 ilaa 1200°C, oo leh heerar koritaan hoose, waxaana loo isticmaali karaa MOS kobaca albaabka dahaaran.oksaydheynta qalalan ayaa laga door bidaa oksaydheynta qoyan marka loo baahan yahay lakabka silicon oxide tayo sare leh oo dhuuban.Awoodda oksaydhka qallalan: 15nm ~ 300nm.

2. Oxidation qoyan

Habkani wuxuu isticmaalaa uumiga biyaha si uu u sameeyo lakabka oksaydhka iyadoo la gelayo tuubada foornada ee xaaladaha heerkulka sare.Cufnaanta oksijiinta qoyan ee qoyan ayaa waxyar ka sii xun oksaydhka oksijiinta qalalan, laakiin marka la barbar dhigo oksaydhka oksijiinta qalalan faa'iidada ay leedahay ayaa ah in ay leedahay heerka koritaanka sare, oo ku habboon in ka badan 500nm koritaanka filimka.Awoodda oksaydhka qoyan: 500nm ~ 2µm.

Tuubbada foornada oksaydhka cadaadiska atmospheric ee AEMD waa tuubo foornada jiifka ah ee Czech, taas oo lagu garto xasilloonida nidaamka sare, lebbiska filimka wanaagsan iyo xakamaynta walxaha sare.Tuubbada foornada silikoon osaydhku waxay farsamayn kartaa ilaa 50 wafers tuubo kasta, oo leh lebbis heer sare ah oo gudaha iyo dhexda ah.