Mashiinka Nadiifinta Birta Ion ee loogu talagalay safayr SiC Si

Sharaxaad Gaaban:

Mashiinka Sawir-qaadista iyo Nadiifinta Birta Ion wuxuu ku salaysan yahay mabda'a ah in la nuugo ion. Gudaha qol faaruq sare leh, isha ion waxay soo saartaa balaasmaha, kaas oo si degdeg ah loogu beddelo ion tamar sare leh. Birtani waxay duqaysaa dusha sare ee qaybta indhaha, iyadoo ka saaraysa walxaha miisaanka atomiga si loo gaaro saxitaan dusha sare oo aad u sax ah iyo dhammaystir.

Noo soo dir emayl

Astaamaha

Jaantus Faahfaahsan

Dulmar Guud ee Badeecada Mashiinka Nadiifinta Birta Ion

Sida hab aan xiriir lahayn, rinjiyeynta iftiinka ion-ka waxay meesha ka saartaa cadaadiska farsamada waxayna ka fogaataa waxyeelada dusha sare, taasoo ka dhigaysa mid ku habboon soo saarista muraayadaha indhaha ee saxda ah ee loo isticmaalo xiddigaha, hawada sare, semiconductors-ka, iyo codsiyada cilmi-baarista ee horumarsan.

Mabda'a Shaqada ee Mashiinka Nadiifinta Birta Ion

Jiilka Ion
Gaaska aan firfircoonayn (tusaale ahaan, argon) ayaa lagu soo geliyaa qolka faakiyuumka ka dibna waxaa lagu dhex shubaa ion iyada oo loo marayo dheecaan koronto si loo sameeyo balaasma.

Samaynta Dardargelinta iyo Fiilooyinka
Ayoons-ka waxaa loo xawaareeyaa boqolaal ama kun oo volts elektaroonik ah (eV) waxaana loo qaabeeyaa meel deggan oo iftiin diiradda saarta.

Ka saarista Agabka
Falaadhaha ion-ku waxay si jidheed uga soo saaraan atamka dusha sare iyagoon bilaabin falgallada kiimikada.

Ogaanshaha Khaladka & Qorsheynta Wadada
Kala leexashada muuqaalka dusha sare waxaa lagu cabbiraa interferometry. Hawlaha ka saarista waxaa loo adeegsadaa si loo go'aamiyo waqtiyada la dego loona abuuro waddooyin qalab oo la hagaajiyay.

Sixitaanka Wareegga Xiran
Wareegyada soo noqnoqda ee habaynta iyo cabbiraadda ayaa sii socda ilaa laga gaaro bartilmaameedyada saxda ah ee RMS/PV.

Astaamaha Muhiimka ah ee Mashiinka Nadiifinta Ion Beam

Iswaafajinta Dusha Sare ee Caalamiga ah- Waxay farsamaysaa dusha sare ee siman, wareegsan, siman, iyo kuwa xorta ah

Heerka Ka saarista Aad u deggan- Waxay suurtagelisaa sixitaanka sawirka hoose ee nanometer-ka

Habaynta aan Waxyeello lahayn– Ma jiraan cillado ama isbeddel qaab-dhismeed oo dhulka hoostiisa ah

Waxqabadka Joogtada ah- Si isku mid ah ayuu ugu shaqeeyaa agabka adag ee kala duwan

Saxitaanka Soo Noqnoqoshada Hoose/Dhexdhexaadka ah- Waxay tirtirtaa khaladaadka iyada oo aan la soo saarin farshaxanno dhexdhexaad ah/sare

Shuruudaha Dayactirka oo Yar- Hawlgal joogto ah oo dheer oo leh waqti yar oo aan la joojin

Tilmaamaha Farsamada ee ugu Muhiimsan ee Mashiinka Nadiifinta Birta Ion

Shay	Faahfaahinta
Habka Habaynta	Ion-ka oo ku shubma jawi faaruq sare leh
Nooca Habaynta	Qiimaynta iyo dhalaalinta dusha sare ee aan taabashada lahayn
Cabbirka ugu badan ee Shaqada	Φ4000 mm
Faasas Dhaqdhaqaaq	3-dhidib / 5-dhidib
Xasiloonida Ka Saarista	≥95%
Saxnaanta Dusha Sare	PV < 10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (RMS caadi ah < 1 nm; PV < 15 nm)
Awoodda Sixitaanka Soo Noqnoqoshada	Waxay ka saartaa khaladaadka soo noqnoqda ee hooseeya-dhexdhexaadka ah iyada oo aan la soo bandhigin khaladaadka soo noqnoqda ee dhexe/sare
Hawlgal Joogto ah	3-5 toddobaad oo aan lahayn dayactir faakuum ah
Kharashka Dayactirka	Hoose

Awoodaha Habaynta ee Mashiinka Nadiifinta Birta Ion

Noocyada Dusha Sare ee la Taageero

Fudud: Fidsan, wareegsan, prism

Isku-dhafan: Aspeer siman/aan sinnayn, aspere off-axis ah, dhululubo

Gaar ah: Optics aad u khafiif ah, optics slat, optics hemispherical, optics conformal, saxanadaha wejiga, dusha sare ee qaab xor ah

Agabka la Taageeray

Muraayadaha indhaha: Quartz, microcrystalline, K9, iwm.

Maaddooyinka Infrared-ka: Silikoon, germanium, iwm.

Biraha: Aluminium, bir aan daxal lahayn, titanium daawaha, iwm.

Kiristaallo: YAG, carbide silikoon ah oo keli ah, iwm.

Alaabada adag/jabay: Kaarboohaydraytka silikoon, iwm.

Tayada Dusha Sare / Saxnaanta

PV < 10 nm

RMS ≤ 0.5 nm

Daraasadaha Kiisaska ee Mashiinka Nadiifinta Birta Ion

Kiiska 1aad - Muraayad Fidsan oo Caadi ah

Shaqada: D630 mm quartz fidsan

Natiijo: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

Kiiska 2aad - Muraayadda Milicsiga X-ray

Shaqada: 150 × 30 mm silikoon fidsan

Natiijo: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; Jiirada 0.13 µrad

Kiiska 3aad - Muraayadda Dhidibka Ka Baxsan

Shaqada: Muraayadda dhulka ee D326 mm oo ka baxsan dhidibka

Natiijo: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

Su'aalaha Badiya La Weydiiyo ee Muraayadaha Quartz

Su'aalaha Inta Badan La Isweydiiyo - Mashiinka Nadiifinta Birta Ion

S1: Waa maxay nadiifinta alwaaxa ion?
A1:Nadiifinta iftiinka ion-ka waa hab aan xiriir lahayn oo adeegsada fallaadho diirad saaran oo ah ion (sida argon ions) si looga saaro walxaha dusha sare ee shaqada. ion-yada waa la dedejiyaa oo loo jiheeyaa dusha sare, taasoo keenta in walxaha heerka atomiga laga saaro, taasoo keenta dhammaystir aad u siman. Habkani wuxuu meesha ka saarayaa cadaadiska farsamada iyo dhaawaca dusha hoose, taasoo ka dhigaysa mid ku habboon qaybaha indhaha ee saxda ah.

S2: Noocyo noocee ah oo dusha sare ah ayaa Mashiinka Ion Beam Polishing uu farsameyn karaa?
A2:TheMashiinka Nadiifinta Birta Ionwaxay farsameyn kartaa dusha sare oo kala duwan, oo ay ku jiraan qaybaha fudud ee indhaha sidadabaqyo, goobo, iyo birma-goysyo, iyo sidoo kale joomatari isku dhafan sidaaspheres, aspheres ka baxsan dhidibka, iyoSagxadaha xorta ahWaxay si gaar ah waxtar ugu leedahay agabka sida muraayadda indhaha, indhaha infrared-ka, biraha, iyo agabka adag/qallafsan.

S3: Agabkee ayuu ku shaqayn karaa Mashiinka Nadiifinta Ion Beam?
A3:TheMashiinka Nadiifinta Birta Ionwaxay dhalaalin kartaa agab kala duwan, oo ay ku jiraan:

Muraayad indhaha ah: Quartz, microcrystalline, K9, iwm.
Walxaha Infrared-ka: Silikoon, germanium, iwm.
Biraha: Aluminium, bir aan miridh lahayn, titanium daawaha, iwm.
Walxaha kiristaliska ah: YAG, carbide silikoon ah oo keli ah, iwm.
Qalab kale oo adag/jab ah: Silikoon carbide, iwm.

Nagu Saabsan

XKH waxay ku takhasustay horumarinta tiknoolajiyadda sare, wax soo saarka, iyo iibinta muraayadaha indhaha ee gaarka ah iyo agabka cusub ee kiristaalka. Badeecadahayagu waxay u adeegaan qalabka elektaroonigga ah ee indhaha, qalabka elektaroonigga ah ee macaamiisha, iyo militariga. Waxaan bixinaa qaybaha indhaha ee Sapphire, daboolka muraayadaha taleefanka gacanta, dhoobada, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, iyo wafers kiristaal semiconductor ah. Iyada oo leh khibrad xirfadeed iyo qalab casri ah, waxaan ku fiicanahay habaynta wax soo saarka aan caadiga ahayn, annagoo higsanayna inaan noqono shirkad hormuud u ah qalabka optoelectronic-ka ee tiknoolajiyada sare.