Nidaamka Hanuuninta Wafer ee Qiyaasta Hanuuninta Crystal

Sharaxaad Gaaban:

Qalabka hanuuninta waferka waa qalab sax ah oo aad u sareeya oo isticmaalaya mabaadi'da kala-duwanaanshaha raajada si kor loogu qaado wax soo saarka semiconductor iyo hababka sayniska maadada iyadoo la go'aaminayo hanuuninta crystallographic. Qaybaheeda xudunta u ah waxaa ka mid ah isha raajada (tusaale, Cu-KA, 0.154 nm mawjadda dhererka), goniometer sax ah (xalin xagal ≤0.001°), iyo qalabka wax baadha (CCD ama xisaabiyeyaasha scintillation). Iyada oo beddeshay muunado iyo falanqaynta qaababka kala duwanaanshiyaha, waxay xisaabinaysaa tusmooyinka crystallographic (tusaale, 100, 111) iyo kala dheeraynta shafka leh ± 30 saxsanaanta labaad. Nidaamku wuxuu taageeraa hawlgallada otomaatiga ah, hagaajinta faakuumka, iyo wareegitaanka dhidibada badan, oo la jaan qaadaya 2-8-inch wafers ee cabbiraadaha degdega ah ee cidhifyada wafer, diyaaradaha tixraaca, iyo toosinta lakabka epitaxial. Codsiyada muhiimka ah waxaa ka mid ah kaarbide silikoon ku jihaysan goynta, waferrada sapphire, iyo marawaxada marawaxadaha ansaxinta heerkul sare, si toos ah u wanaajinaya qalabka korantada ee jajabka ah iyo soosaarka.


Astaamaha

Hordhaca Qalabka

Aaladaha hanuuninta Wafer waa aalado sax ah oo ku saleysan mabaadi'da kala duwanaanshaha raajada (XRD), oo inta badan loo isticmaalo wax soo saarka semiconductor, agabka indhaha, ceramics, iyo warshadaha kale ee walxaha crystalline.

Qalabyadani waxay go'aamiyaan jihaynta shabkada crystal waxayna hagaan goynta saxda ah ama habsocodyada turxaan bixinta. Tilmaamaha muhiimka ah waxaa ka mid ah:

  • Cabbiraadyo sax ah oo sarreeya:Awood u leh in lagu xaliyo diyaaradaha crystallographic qaraarada xagal hoose ilaa 0.001°​.
  • Waafaqid muunad weyn:Waxay taageertaa waferrada ilaa 450 mm dhexroorka iyo miisaanka 30 kg, oo ku habboon agabka sida silicon carbide (SiC), sapphire, iyo silicon (Si).
  • Naqshadaynta modular:Waxqabadyada la ballaarin karo waxaa ka mid ah falanqaynta qalooca ruxay, khariidaynta cilladaha dusha sare ee 3D, iyo isku dhejinta aaladaha habaynta muunado badan.

Halbeegyada Farsamo ee Muhiimka ah

Qaybta Parameter

Qiimaha/Qaabka Caadiga ah

Xigasho raajada

Cu-Kα (0.4 × 1 mm booska xudunta), 30 kV korantada dardargelinta, 0-5 mA tuubo la hagaajin karo

Xaddiga xagal

θ: -10° ilaa +50°; 2θ: -10° ilaa +100°

Saxnimada

Xallinta xagasha leexleexda: 0.001°, ogaanshaha cilada dusha sare: ± 30 arcseconds (qallooca ruxaya)

Xawaaraha sawirka

Iskaanka Omega wuxuu ku dhammeeyaa hanuuninta shabagga buuxa ee 5 ilbiriqsi gudahood; Sawirka Theta wuxuu qaadanayaa ~ 1 daqiiqo

Tusaalaha Marxaladda

V-groove, nuugid pneumatic ah, wareega xagal badan, la jaan qaadaya 2-8-inji maraqa

Hawlaha la ballaarin karo

Falanqaynta qalooca ruxida, khariidaynta 3D, qalabka is dulsaarka, ogaanshaha cilladaha indhaha (xoqitaan, GBs)

Mabda'a shaqada

1. X-ray Diffraction Foundation

  • Raajooyinku waxay la falgalaan nuclei-ka atomiga iyo elektaroonnada ku jira shabagga crystal, taasoo dhalinaysa qaabab kala duwanaansho. Sharciga Bragg (nλ = 2d sinθ​) ayaa maamula xidhiidhka ka dhexeeya xaglaha kala duwanaanshiyaha (θ) iyo kala dheeraynta shafka ah (d).
    Baarayaashu waxay qabtaan qaababkan, kuwaas oo la falanqeeyay si dib loogu dhiso qaab dhismeedka crystallographic.

2. Tignoolajiyada Iskaanka ee Omega

  • Karistanku wuxuu si joogto ah ugu wareegayaa dhidib go'an halka raajada ay iftiiminayso.
  • Baadi-baarayaashu waxay ururiyaan calaamadaha kala-duwanaanta ee diyaarado badan oo crystallographic ah, taasoo awood u siinaya go'aaminta jihayn buuxda 5 ilbiriqsi gudahood.

3. Falanqaynta Curve Rocking

  • xagal go'an oo crystal ah oo leh xaglo dhacdooyinka raajada oo kala duwan si loo cabbiro ballaca ugu sarreeya (FWHM), qiimaynta cilladaha xadhkaha iyo culayska

4. Xakamaynta otomaatiga ah

  • Isku xirka PLC iyo shaashadda taabashada waxay awood u siineysaa xagasha goynta hore, jawaab celinta waqtiga-dhabta ah, iyo is dhexgalka mashiinada goynta si loo xakameeyo-loop-ka.

Qalabka Hanuuninta Wafer 7

Faa'iidooyinka iyo sifooyinka

1. Saxnaanta iyo Hufnaanta

  • Saxnaanta xaglaha ± 0.001°, xallinta cilladda ogaanshaha <30 ilbiriqsi.
  • Xawaaraha iskaanka Omega waa 200× ka dhakhso badan yahay sawirada Theta dhaqameed.

2. Modularity iyo Miisaanka

  • Balaadhin kara codsiyada khaaska ah (tusaale, SiC wafers, marawaxadaha marawaxadaha).
  • Waxay la midaysaa nidaamyada MES ee la socodka wax-soo-saarka waqtiga-dhabta ah.

3. Waafaqid iyo Xasilooni

  • Waxay dejisaa muunado qaab aan caadi ahayn (tusaale, safayr dillaacsan).
  • Naqshadaynta hawo qaboojiye waxay yaraynaysaa baahida dayactirka.

4. Hawlgalka caqliga leh

  • Hal-guji hagaajinta iyo habaynta hawlo badan.
  • Si otomaatig ah ula jaanqaadida kirismaska tixraaca si loo yareeyo khaladka aadanaha.

Qalabka Hanuuninta Wafer 5-5

Codsiyada

1. Wax-soo-saarka Semiconductor

  • Jihaynta dicing Wafer: Waxay go'aamisaa Si, SiC, hanuuninta waferka GaN ee hufnaanta goynta la hagaajiyay.
  • Khariidaynta cilladaysan: Waxay aqoonsataa xagashada dusha sare ama meel-ka-baxa si loo hagaajiyo wax-soo-saarka jajabka.

2. Qalabka indhaha

  • Kiristaalo aan toos ahayn (tusaale, LBO, BBO) ee aaladaha laysarka.
  • Sapphire wafer tixraac dusha sare ee calaamadaynta substrates LED.

3. Ceramics iyo Composites

  • Wuxuu falanqeeyaa hanuuninta hadhuudhka ee Si3N4 iyo ZrO2 ee codsiyada kulaylka sareeyo.

4. Cilmi-baarista iyo Xakamaynta Tayada

  • Jaamacado/shaybaaro loogu talagalay horumarinta agabka cusub (tusaale, alwaaxyada entropy-sare).
  • Warshadaha QC si loo hubiyo joogteynta dufcadda.

Adeegyada XKH

XKH waxay bixisaa taageero farsamo oo dhamaystiran ee meertada nolosha qalabka hanuuninta wafer, oo ay ku jiraan rakibaadda, habaynta habraaca habraaca, falanqaynta qalooca ruxida, iyo khariidaynta cilada dusha 3D. Xalalka loo habeeyey (tusaale, tignoolajiyada istaajinta ingot) ayaa la bixiyaa si kor loogu qaado wax-ku-oolnimada wax-soo-saarka semiconductor iyo walxaha indhaha in ka badan 30%. Koox u go'an ayaa qabata tababbarka goobta, halka 24/7 taageero fog iyo beddelaad degdeg ah oo qayb ka mid ah ay hubiso isku halaynta qalabka.


  • Kii hore:
  • Xiga:

  • Halkan ku qor fariintaada oo noo soo dir