Marxaladda Hawada SiC ee Ultra-Precision

Sawirka Soo-bandhigay ee Heerka Hawada SiC ee Ultra-Precision

Sharaxaad Gaaban:

Iyada oo ay jirto horumarka joogtada ah ee warshadaha semiconductor-ka, qalabka wax lagu farsameeyo iyo kormeerka wuxuu u baahan yahay waxqabad aad u sarreeya. Iyada oo lagu saleynayo khibrad ballaaran oo ku saabsan xakamaynta dhaqdhaqaaqa iyo booska heerka nanometer-ka, waxaan horumarinnay marxalad hawo-qaadis oo qaabaysan oo nooca H-nooca ah oo laba-axis ah oo aad u sax ah.

Noo soo dir emayl

Astaamaha

Jaantus Faahfaahsan

Dulmar Guud

Iyada oo lagu farsameeyay qaab-dhismeedka dhoobada ah ee silicon carbide (SiC) oo lagu habeeyay curiye xaddidan iyo tignoolajiyad hawo-qaadis ah oo magdhow ah, masraxa wuxuu bixiyaa saxnaan heer sare ah, adkeysi, iyo jawaab firfircoon. Waxa ugu habboon in lagu sameeyo:

Habaynta iyo kormeerka semiconductor-ka
Wax soo saarka yar yar/nano iyo mitirka
Jarjaridda iyo nadiifinta duulista miisaanka Nanometer-ka
Iskaanka saxnaanta xawaaraha sare leh

Astaamaha Muhiimka ah

Tilmaamaha hawo-qaadista SiCsi aad u qoto dheer oo sax ah iyo qallafsanaan
Dhaqdhaqaaqa sare: xawaare ilaa 1 m/s, dardargelin ilaa 4 g, degitaan degdeg ah
Dhererka Y-dhidibka laba-wadidda ahwaxay hubisaa awood rar sare iyo xasillooni
Ikhtiyaarada Encoder-ka: shabagga indhaha ama qalabka laysarka ee interferometer-ka
Saxnaanta booska: ±0.15 μm;ku celcelinta: ±75 nm
Jid-wadida fiilada la hagaajiyaysi loo helo naqshad nadiif ah iyo isku hallayn muddo dheer ah
Qaabeynta la habeyn karobaahiyaha gaarka ah ee codsiga

Naqshadeynta Ultra-Precision & Direct-Drive, Naqshadeynta Aan Taabashada Lahayn

Qaab-dhismeedka Dhoobada SiC: ~5× adkaanta aluminiumka iyo ~5× ballaarinta kulaylka oo hooseeya, taasoo hubinaysa xasilloonida xawaaraha sare iyo adkeysiga kulaylka.
Qalabka Hawada ee Magdhawga ahNaqshad gaar ah waxay xoojisaa adkaanta, awoodda rarka, iyo xasilloonida dhaqdhaqaaqa.
Waxqabadka Firfircoon: Waxay taageertaa xawaaraha 1 m/s iyo dardargelinta 4 g, taasoo ku habboon hababka wax soo saarka sare leh.
Is-dhexgal aan kala go 'lahayn: La jaan qaadaya nidaamyada go'doominta gariirka, marxaladaha wareega, modules-yada tilt, iyo goobaha maaraynta wafer-ka.
Maareynta Fiilada: Gacanka la xakameeyey ee la leexiyo ayaa yareeya walbahaarka cimriga adeegga oo dheer.

Matoorka Toosan ee CorelessDhaqdhaqaaq siman oo aan lahayn awood isku-xidhnaan ah.
Darawalka Mootooyinka Badan: Meelaynta matoorka xamuulka ah waxay hagaajisaa toosanaanta, fidsanaanta, iyo saxnaanta xagasha.
Go'doominta KulaylkaMatoorada waa laga go'doomiyay qaab-dhismeedka masraxa; qaboojinta hawada ama biyaha ikhtiyaariga ah ee wareegyada shaqada sare leh.

Tilmaamaha

Moodel	400-400	500-500	600-600
Faasas	X (sawir) / Y (tallaabo)	X (sawir) / Y (tallaabo)	X (sawir) / Y (tallaabo)
Safarka (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Saxnaanta (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
Ku celcelinta (nm)	±75	±100	±100
Xallinta (nm)	0.3	0.3	0.3
Xawaaraha ugu Badan (m/s)	1	1	1
Dardargelinta (g)	4	4	4
Toosnaanta (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
Xasilloonida (nm)	±5	±5	±5
Rarka ugu badan (kg)	20	20	20
Qaylo-dhaan/Rogaal/Yaw (arc-sec)	±1	±1	±1

Xaaladaha Imtixaanka:

Sahayda hawada: nadiif ah, qalalan; dhibicda dharabka ≤ 0°F; shaandhaynta walxaha ≤ 0.25 μm; ama 99.99% naytarojiin.
Saxnaanta waxaa lagu cabiray 25 mm oo ka sarreysa xarunta masraxa 20±1 °C, 40–60% RH.

Codsiyada

Lithography-ga, kormeerka, iyo maaraynta wafer-ka semiconductor-ka
Soo saarista Micro/nano iyo metroloji sax ah
Wax soo saarka indhaha ee heerka sare ah iyo interferometry
Hawada Sare iyo cilmi baaris cilmiyeed oo horumarsan

Su'aalaha Badiya La Weydiiyo - Marxaladda Hawada ee Silicon Carbide

1. Waa maxay marxaladda hawada qaadata?

Marxadda hawada qaada waxay isticmaashaa filim khafiif ah oo hawo cadaadis leh oo u dhexeeya masraxa iyo hagaha si ay u bixisodhaqdhaqaaq aan kala go 'lahayn, aan xirnayn, iyo mid aad u simanSi ka duwan sida biirta farsamada caadiga ah, waxay meesha ka saartaa simbiriirixanka usha, waxayna bixisaa saxnaanta heerka nanometer-ka, waxayna taageertaa isku halaynta muddada dheer.

2. Maxaa loo isticmaalaa qaab-dhismeedka marxaladda carbide-ka ee silicon (SiC)?

Adkeyn sare: ~5× oo ka mid ah aluminiumka, taasoo yaraynaysa isbeddelka inta lagu jiro dhaqdhaqaaqa firfircoon.
Ballaarinta kulaylka oo hooseysa: ~ 5× ka hooseeya aluminiumka, iyadoo la ilaalinayo saxnaanta marka heerkulku kala duwan yahay.
FududCufnaanta hoose marka loo eego birta, taasoo suurtogalinaysa hawlgal xawaare sare iyo xawaare sare leh.
Xasillooni aad u fiican: Qoyaan sare iyo adkeysi si loo helo meelaynta aadka u saxsan.

3. Masaafada ma u baahan tahay saliidayn ama dayactir?

Looma baahna saliid dhaqameed maadaama ay jirtoma jiro taabasho farsamoDayactirka lagu taliyay waxaa ka mid ah:

BixintaHawo nadiif ah, qalalan oo la cadaadiyey ama nitrogen
Kormeer joogto ah oo lagu sameeyo shaandheeyayaasha iyo qalajiyeyaasha
La socodka fiilooyinka iyo nidaamyada qaboojinta

4. Waa maxay shuruudaha sahayda hawada?

Barta dharabka: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Shaandhaynta walxaha: ≤ 0.25 μm
Hawo nadiif ah oo qalalan ama 99.99% nitrogen saafi ah
Cadaadis deggan oo leh isbeddel yar

Nagu Saabsan

XKH waxay ku takhasustay horumarinta tiknoolajiyadda sare, wax soo saarka, iyo iibinta muraayadaha indhaha ee gaarka ah iyo agabka cusub ee kiristaalka. Badeecadahayagu waxay u adeegaan qalabka elektaroonigga ah ee indhaha, qalabka elektaroonigga ah ee macaamiisha, iyo militariga. Waxaan bixinaa qaybaha indhaha ee Sapphire, daboolka muraayadaha taleefanka gacanta, dhoobada, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, iyo wafers kiristaal semiconductor ah. Iyada oo leh khibrad xirfadeed iyo qalab casri ah, waxaan ku fiicanahay habaynta wax soo saarka aan caadiga ahayn, annagoo higsanayna inaan noqono shirkad hormuud u ah qalabka optoelectronic-ka ee tiknoolajiyada sare.