Khadka Toosinta ee Silikoon / Silikoon Carbide (SiC) Wafer oo leh Afar Marxaladood oo Isku Xidhan oo Nadiifin ah (Khadka Maareynta Kadib ee Bilaashka ah)

Wafer Silicon / Silicon Carbide (SiC) Khadka Iswada ee Afar-Marxalad ah ee Isku-xidhan ee Nadiifinta (Khadka Maareynta Kadib ee Polish-ka) Sawirka La Soo Bandhigay

Sharaxaad Gaaban:

Khadkan Is-waafajinta ee Afar-Marxalad Isku Xiran waa xal isku dhafan oo gudaha ah oo loogu talagalayka dib-boolish / ka dib-CMPhawlgalladasilikooniyosilikoon carbide (SiC)Wafers. Ku wareegsansideyaasha dhoobada (saxanadaha dhoobada), nidaamku wuxuu isku daraa hawlo badan oo hoos u socda hal khad oo isku xiran - isagoo ka caawinaya warshadaha inay yareeyaan maaraynta gacanta, xasiliyaan waqtiga shaqada, iyo xoojinta xakamaynta wasakhowga.

Noo soo dir emayl

Astaamaha

Jaantus Faahfaahsan

Xariiqda Is-waafajinta ee Silikoon / Silikoon Carbide (SiC) Wafer oo leh Afar Marxaladood oo Isku Xidhan oo Nadiifin ah (Xariiqda Maareynta Kadib ee Bilaashka ah)4

Dulmar Guud

Wax soo saarka semiconductor-ka,Nadiifin wax ku ool ah kadib-CMPwaxaa si weyn loogu aqoonsaday inay tahay tallaabo muhiim ah oo lagu yareynayo cilladaha ka hor habka xiga, iyo habab horumarsan (oo ay ku jiraannadiifinta megasonic) ayaa si caadi ah looga hadlaa hagaajinta waxqabadka ka saarista walxaha.

Gaar ahaan SiC,Adkayn sare iyo firfircooni kiimikoka dhig rinjiyeynta mid adag (badanaa la xiriirta heerka hoose ee ka saarista walxaha iyo khatarta sare ee dhaawaca dusha sare/dhulka hoose), taasoo ka dhigaysa otomaatiga xasilloon ee ka dib rinjiyeynta iyo nadiifinta/maaraynta la xakameeyey mid aad muhiim u ah.

Faa'iidooyinka Muhiimka ah

Hal khad oo isku dhafan oo taageera:

Kala soocidda iyo ururinta Wafer-ka(ka dib marka la nadiifiyo)
Kaydinta side dhoobada ah / kaydinta
Nadiifinta side dhoobada ah
Ku dhejinta Wafer-ka (ku dhejinta) meelaha dhoobada lagu rido
Hawlgal isku dhafan, hal-sadar ah oo loogu talagalayWafers 6–8 inji ah

Faahfaahinta Farsamada (Laga soo xigtay Xogta la bixiyay)

Cabbirka Qalabka (L × W × H):13643 × 5030 × 2300 mm
Koronto Bixinta:AC 380 V, 50 Hz
Awood Guud:119 kW
Nadiifinta Ku rakibida:0.5 μm < 50 μm; 5 μm < 1 μm
Fidsanaan Ku Xiran:≤ 2 μm

Tixraaca Wax-soo-saarka (Laga soo bilaabo Xogta La Bixiyay)

Cabbirka Qalabka (L × W × H):13643 × 5030 × 2300 mm
Koronto Bixinta:AC 380 V, 50 Hz
Awood Guud:119 kW
Nadiifinta Ku rakibida:0.5 μm < 50 μm; 5 μm < 1 μm
Fidsanaan Ku Xiran:≤ 2 μm

Socodka Khadka Caadiga ah

Quudinta / is-dhexgalka laga bilaabo aagga nadiifinta sare
Kala soocidda iyo ururinta Wafer-ka
Kaydinta/kaydinta side-ka dhoobada ah (kala furfuridda isku-xidhka waqti-tallaabo ah)
Nadiifinta side dhoobada ah
Wafer-ka lagu rakibayo qalabka lagu qaado (oo leh nadaafad iyo xakamayn fidsanaan)
Ku sii wad habka hoos u dhaca ama saadka

Su'aalaha Badiya La Weydiiyo

S1: Maxay yihiin dhibaatooyinka uu khadkani si gaar ah u xalliyo?
A: Waxay fududeysaa hawlaha ka dambeeya nadiifinta iyadoo isku daraysa kala soocidda/ururinta wafer-ka, kaydinta side-ka dhoobada ah, nadiifinta side-ka, iyo rakibidda wafer-ka hal khad otomaatig ah oo isku-dubarid ah - taasoo yaraynaysa taabashada gacanta iyo xasilinta laxanka wax soo saarka.

S2: Alaabooyinka iyo cabbirrada kee baa la taageerayaa?
A:Silikoon iyo SiC,6–8 injibuskud (sida ku cad tilmaamaha la bixiyay).

S3: Maxaa nadiifinta ka dib CMP loogu xoojiyay warshadaha?
A: Suugaanta warshadaha ayaa iftiiminaysa in baahida loo qabo nadiifinta wax ku oolka ah ee ka dambeysa CMP ay korodhay si loo yareeyo cufnaanta cilladaha ka hor tallaabada xigta; hababka ku salaysan megasonic ayaa si caadi ah loo bartaa si loo hagaajiyo ka saarista walxaha.

Nagu Saabsan

XKH waxay ku takhasustay horumarinta tiknoolajiyadda sare, wax soo saarka, iyo iibinta muraayadaha indhaha ee gaarka ah iyo agabka cusub ee kiristaalka. Badeecadahayagu waxay u adeegaan qalabka elektaroonigga ah ee indhaha, qalabka elektaroonigga ah ee macaamiisha, iyo militariga. Waxaan bixinaa qaybaha indhaha ee Sapphire, daboolka muraayadaha taleefanka gacanta, dhoobada, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, iyo wafers kiristaal semiconductor ah. Iyada oo leh khibrad xirfadeed iyo qalab casri ah, waxaan ku fiicanahay habaynta wax soo saarka aan caadiga ahayn, annagoo higsanayna inaan noqono shirkad hormuud u ah qalabka optoelectronic-ka ee tiknoolajiyada sare.