Gacan/Gacanta Fargeeto Dhoobo ah oo Silicon Carbide ah
Jaantus Faahfaahsan
Soo bandhigida Fargeeto/Gacanta Dhoobada ah ee Silicon Carbide
TheGacan/Gacanta Fargeeto Dhoobo ah oo Silicon Carbide ahwaa qayb gacan-qabasho oo horumarsan oo loo sameeyay nidaamyada otomaatiga saxnaanta sare leh, gaar ahaan warshadaha semiconductor-ka iyo indhaha. Qaybtani waxay leedahay naqshad U-qaab gaar ah oo loogu talagalay maaraynta wafer-ka, iyadoo hubinaysa labadaba xoogga farsamada iyo saxnaanta cabbirka xaaladaha deegaanka ee aadka u daran. Laga sameeyay dhoobada silikoon carbide saafi ah,gacanta/fargeetowaxay bixisaa adkeysi aan caadi ahayn, xasillooni kuleyl, iyo iska caabin kiimiko.
Maadaama aaladaha semiconductor-ka ay u soo baxaan qaab-dhismeedyo jilicsan iyo dulqaad adag, baahida loo qabo qaybaha aan wasakhda lahayn iyo kuwa kuleylka deggan ayaa noqda mid muhiim ah.Gacan/Gacanta Fargeeto Dhoobo ah oo Silicon Carbide ahWaxay la kulmeysaa caqabaddan iyadoo bixineysa soo saarista walxaha yaryar, dusha sare ee aadka u siman, iyo hufnaan qaab-dhismeed oo adag. Hadday tahay gaadiidka wafer-ka, booska substrate-ka, ama madaxyada qalabka robot-ka, qaybtan waxaa loo sameeyay isku halleyn iyo cimri dheer.
Sababaha ugu muhiimsan ee loo dooran karo tanGacan/Gacanta Fargeeto Dhoobo ah oo Silicon Carbide ahwaxaa ka mid ah:
-
Ballaarinta kulaylka ugu yar ee saxnaanta cabbirka
-
Adkaanta sare ee cimriga dheer ee adeegga
-
Iska caabbinta aashitada, alkalis, iyo gaasaska falgalka ah
-
La jaanqaadida jawiga qolka nadiifka ah ee ISO Class 1
Mabda'a Wax Soo Saarka ee Fargeeto Dhoobo ah oo Silikoon ah/Gacan
TheGacan/Gacanta Fargeeto Dhoobo ah oo Silicon Carbide ahwaxaa lagu soo saaraa iyada oo loo marayo hab-socod shaqo oo aad loo xakameeyey oo loogu talagalay in lagu hubiyo sifooyinka agabka oo sarreeya iyo isku-dheellitirka cabbirka.
1. Diyaarinta Budada
Hawshu waxay ku bilaabataa xulashada budada carbide-ka silicon ee aadka u fiican. Budadan waxaa lagu qasaa waxyaabaha xidha iyo qalabka sintering-ka si loo fududeeyo isku-ururinta iyo cufnaanta. Tan awgeedgacanta/fargeeto, Budada β-SiC ama α-SiC waxaa loo isticmaalaa in lagu hubiyo adkaanta iyo adkaanta labadaba.
2. Qaabaynta iyo Hormarinta
Iyada oo ku xidhan kakanaantagacanta/fargeetoNaqshadeynta, qaybta waxaa loo qaabeeyey iyadoo la adeegsanayo cadaadis isostatic ah, qaabaynta duritaanka, ama shubid simbiriirixan. Tani waxay u oggolaanaysaa joomatari adag iyo qaab-dhismeedyo derbi khafiif ah, oo muhiim u ah dabeecadda fudud eeGacan/Gacanta Fargeeto Dhoobo ah oo Silicon Carbide ah.
3. Sintering Heerkul Sare leh
Sintering-ka waxaa lagu sameeyaa heerkul ka sarreeya 2000°C jawi faakiyuum ama argon ah. Marxaladani waxay jidhka cagaaran u beddeshaa qayb dhoobo ah oo si buuxda u cufan.gacanta/fargeetowaxay gaadhaa cufnaan ku dhow aragtiyeed, iyadoo bixinaysa sifooyin farsamo iyo kuleyl oo heer sare ah.
4. Makiinadaha Sax ah
Ka dib qalitaanka,Gacan/Gacanta Fargeeto Dhoobo ah oo Silicon Carbide ahWaxay martaa shiididda dheemanka iyo mashiinka CNC. Tani waxay hubinaysaa in si siman loo sameeyo gudaha ±0.01 mm waxayna u oggolaanaysaa in lagu daro godadka rakibidda iyo helitaanka sifooyinka muhiimka u ah rakibiddeeda nidaamyada otomaatiga ah.
5. Dhammaystirka Dusha Sare
Nadiifintu waxay yareysaa qallafsanaanta dusha sare (Ra < 0.02 μm), taasoo lagama maarmaan u ah yareynta soo saarista walxaha. Dahaarka CVD ee ikhtiyaariga ah ayaa la isticmaali karaa si loo hagaajiyo iska caabbinta balaasmaha ama loogu daro shaqeynta sida dhaqanka ka hortagga-istaagga.
Inta hawshan socoto, habraacyada xakamaynta tayada ayaa la adeegsadaa si loo dammaanad qaadoGacan/Gacanta Fargeeto Dhoobo ah oo Silicon Carbide ahsi kalsooni leh ayuu u shaqeeyaa codsiyada ugu xasaasiga badan.
Cabbirrada Fargeeto/Gacanta Dhoobada ah ee Silicon Carbide
| Tilmaamaha ugu Muhiimsan ee Dahaarka CVD-SIC | ||
| SiC-CVD Sifooyinka | ||
| Qaab-dhismeedka Crystal | Marxaladda FCC β | |
| Cufnaanta | g/cm ³ | 3.21 |
| Adkaanta | Adkaanshaha Vickers | 2500 |
| Cabbirka Badarka | μm | 2~10 |
| Nadiifinta Kiimikada | % | 99.99995 |
| Awoodda Kulaylka | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Heerkulka Sublimation | ℃ | 2700 |
| Xoogga Felexural | MPa (RT 4-dhibcood) | 415 |
| Modulus-ka Young | Gpa (4pt laab, 1300℃) | 430 |
| Ballaarinta Kulaylka (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Gudbinta kulaylka | (W/mK) | 300 |
Adeegsiga Fargeeto/Gacanta Dhoobada ah ee Silicon Carbide
TheGacan/Gacanta Fargeeto Dhoobo ah oo Silicon Carbide ahwaxaa si weyn looga isticmaalaa warshadaha halkaas oo nadiifnimo sare, xasillooni, iyo saxnaan farsamo ay muhiim u yihiin. Kuwaas waxaa ka mid ah:
1. Soo saarista Semiconductor-ka
Soo saarista semiconductor-ka,Gacan/Gacanta Fargeeto Dhoobo ah oo Silicon Carbide ahwaxaa loo isticmaalaa in lagu qaado buskudka silikoon ee qalabka wax lagu farsameeyo sida qolalka wax lagu qoro, nidaamyada dhigaalka, iyo qalabka kormeerka. Iska caabbinta kulaylka iyo saxnaanta cabbirka ayaa ka dhigaysa mid ku habboon yareynta khaladka buskudka iyo wasakhowga.
2. Soo saarista Gudida Bandhiga
Soo saarista bandhigyada OLED iyo LCD,gacanta/fargeetowaxaa lagu dabaqaa nidaamyada soo-qaadista iyo meelaynta, halkaas oo ay ku qabato walxaha jilicsan ee galaaska. Cufnaanteeda hoose iyo adkaanteeda sare waxay suurtogal ka dhigaysaa dhaqdhaqaaq degdeg ah oo deggan iyada oo aan lahayn gariir ama leexasho.
3. Nidaamyada Indhaha iyo Sawirka
Si loo hagaajiyo loona dhigo muraayadaha, muraayadaha, ama jajabyada sawir-qaadista,Gacan/Gacanta Fargeeto Dhoobo ah oo Silicon Carbide ahwaxay bixisaa taageero aan gariir lahayn, oo muhiim u ah habaynta laysarka iyo codsiyada mitirka saxda ah.
4. Nidaamyada Hawada Sare iyo Faakiyuumka
Nidaamyada indhaha ee hawada sare iyo qalabka faakuumka, qaab-dhismeedka aan birlab ahayn ee u adkaysta daxalka ee qaybtan ayaa hubiya xasillooni muddo dheer ah.gacanta/fargeetowaxay sidoo kale ka shaqayn kartaa faakiyuum aad u sarreeya (UHV) iyada oo aan la saarin gaaska.
Dhammaan goobahaas,Gacan/Gacanta Fargeeto Dhoobo ah oo Silicon Carbide ahwaxay ka fiican tahay beddelka biraha dhaqameed ama polymer-ka marka loo eego isku halaynta, nadaafadda, iyo cimriga adeegga.
Su'aalaha Badiya La Weydiiyo ee Fargeeto Dhoobada ah oo Silikoon Carbide ah/Gacanta
S1: Cabbirrada wafer-ka noocee ah ayaa taageera Gacanta/Gacanta Fargeetada Ceramic ee Silicon Carbide?
Thegacanta/fargeetowaxaa loo habeyn karaa si loo taageero 150 mm, 200 mm, iyo 300 mm wafers. Ballaca fargeetada, ballaca gacanta, iyo qaababka godadka waxaa loo habeyn karaa si ay ugu habboonaadaan goobtaada otomaatiga ah ee gaarka ah.
S2: Gacanta/Gacanta Fargeetada Ceramic ee Silicon Carbide ma la jaanqaadi kartaa nidaamyada faakuumka?
Haa.gacanta/fargeetoWaxay ku habboon tahay nidaamyada faakiyuumka ee hooseeya iyo kuwa aadka u sarreeya. Waxay leedahay heer hoose oo gaas-ka-baxa mana sii dayso walxaha wasakhda ah, taasoo ka dhigaysa mid ku habboon jawiga nadiifka ah iyo kuwa faakiyuumka.
S3: Ma ku dari karaa dahaadh ama wax ka beddelka dusha sare gacanta/gacanta fargeeto?
Hubaal.Gacan/Gacanta Fargeeto Dhoobo ah oo Silicon Carbide ahwaxaa lagu dahaadhi karaa lakabyada CVD-SiC, kaarboon, ama oksaydh si kor loogu qaado iska caabbinta balaasmaha, sifooyinka ka hortagga-istaaga, ama adkaanta dusha sare.
S4: Sidee loo xaqiijiyay tayada gacanta/gacanta fargeeto?
Mid kastaGacan/Gacanta Fargeeto Dhoobo ah oo Silicon Carbide ahwaxaa la mariyaa kormeer cabbireed iyadoo la adeegsanayo qalabka CMM iyo laysarka. Tayada dusha sare waxaa lagu qiimeeyaa SEM iyo profilometry aan la taaban si loo buuxiyo heerarka ISO iyo SEMI.
S5: Waa maxay waqtiga hogaaminta ee amarrada gacanta fargeeto/gacanta gaarka ah?
Waqtiga hogaamintu wuxuu caadi ahaan u dhexeeyaa 3 ilaa 5 toddobaad iyadoo ku xiran dhibka iyo tirada. Samaynta tijaabada degdega ah ayaa diyaar u ah codsiyada degdegga ah.
Su'aalaha Badiya La Weydiiyo Waxay Ujeedadoodu tahay inay ka caawiyaan injineerada iyo kooxaha wax iibsiga inay fahmaan awoodaha iyo fursadaha la heli karo marka la dooranayoGacan/Gacanta Fargeeto Dhoobo ah oo Silicon Carbide ah.
Nagu Saabsan
XKH waxay ku takhasustay horumarinta tiknoolajiyadda sare, wax soo saarka, iyo iibinta muraayadaha indhaha ee gaarka ah iyo agabka cusub ee kiristaalka. Badeecadahayagu waxay u adeegaan qalabka elektaroonigga ah ee indhaha, qalabka elektaroonigga ah ee macaamiisha, iyo militariga. Waxaan bixinaa qaybaha indhaha ee Sapphire, daboolka muraayadaha taleefanka gacanta, dhoobada, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, iyo wafers kiristaal semiconductor ah. Iyada oo leh khibrad xirfadeed iyo qalab casri ah, waxaan ku fiicanahay habaynta wax soo saarka aan caadiga ahayn, annagoo higsanayna inaan noqono shirkad hormuud u ah qalabka optoelectronic-ka ee tiknoolajiyada sare.










