SiC Ceramic Fargeeto Gacan / Dhammaystiran - Wax ka qabashada Saxda Sarreysa ee Wax Soo Saarka Semiconductor

Sharaxaad Gaaban:

SiC Ceramic Fork Arm, oo inta badan loo yaqaan 'Effector Ceramic End Effector', waa qayb maaraynta saxda ah ee waxqabadka sare leh oo si gaar ah loogu horumariyay gaadiidka waferka, toosinta, iyo meelaynta warshadaha tignoolajiyada sare, gaar ahaan gudaha semiconductor iyo wax soo saarka sawir-qaadista. Lagu farsameeyay iyadoo la adeegsanayo dhoobada silikoon carbide ceramics oo nadiif ah, qaybtan waxay isku daraysaa xoog farsamo oo gaar ah, balaadhinta kulaylka aadka u hooseeya, iyo iska caabbinta shoogga kulaylka iyo daxalka.

Email noogu soo dir

Astaamaha

Jaantus faahfaahsan

Dulmarka alaabta

Si ka duwan saamaynta dhamaadka dhaqameed ee laga sameeyay aluminium, birta aan fiicnayn, ama xitaa quartz, SiC-dhammeeyayaasha dhamaadka dhoobada waxay bixiyaan waxqabad aan la mid ahayn qolalka faakuumka, qolalka nadiifka ah, iyo bay'ada habaynta adag, iyaga oo ka dhigaya qayb muhiim ah oo ka mid ah jiilka soo socda ee maaraynta waferka. Iyada oo ay sii kordhayso baahida loo qabo wax-soo-saarka ka xorta ah faddaraynta iyo dulqaadka adag ee samaynta chip-samaynta, isticmaalka saamaynta dhammaadka dhoobada ayaa si degdeg ah u noqonaya heerka warshadaha.

Mabaadi'da Wax-soo-saarka

Been abuurkaSiC Ceramic End Effectorsku lug leh taxane ah oo sax ah oo sax ah, hannaan nadiif ah oo sarreeya kuwaas oo hubinaya waxqabadka iyo adkeysiga labadaba. Laba hab oo muhiim ah ayaa sida caadiga ah loo isticmaalaa:

Silikon Carbide-ku-xidhan falcelinta (RB-SiC)

Habkan, preform ka samaysan budada carbide silikoon iyo xidhe waxa lagu dhex geliyaa silikoon dhalaalaysa heerkul sare (~ 1500°C), kaas oo la falgala kaarboon hadhaaga ah si uu u sameeyo cufan, adag SiC-Si isku dhafan. Habkani waxa uu bixiyaa kontorool cabbir oo heersare ah waxana uu kharash-ku-ool yahay wax-soo-saarka baaxadda leh.

Silicon Carbide Sintered aan Cadaadis lahayn (SSiC)

SSiC waxaa lagu sameeyay iyadoo lagu shubayo budada SiC ee nadiifka ah oo aad u heersaraysa (>2000°C) iyada oo aan la isticmaalin wax lagu daro ama weji xidhidh. Tani waxay keenaysaa badeecad leh ku dhawaad 100% cufnaanta iyo qalabka ugu sareeya ee makaanikada iyo kulaylka ee laga heli karo qalabka SiC. Waxay ku habboon tahay codsiyada maaraynta wafer ee aadka u daran.

Processing ka dib

Mashiinka saxda ah ee CNC: Wuxuu gaaraa flatness sare iyo isbarbardhigga.
Dhamaystirka dusha sareDaahfurka dheemanka wuxuu yareeyaa qallafsanaanta dusha ilaa <0.02 µm.
Kormeer: Interferometry indhaha, CMM, iyo tijaabo aan burburin ayaa la shaqaaleysiiyay si loo xaqiijiyo qayb kasta.

Talaabooyinkani waxay dammaanad qaadayaan inSiC dhamaadka saamaynwaxay keentaa saxnaanta meelaynta waferka ee joogtada ah, qorshayn heer sare ah, iyo abuurista walxaha ugu yar.

Tilmaamaha Muhiimka ah iyo Faa'iidooyinka

Muuqaal	Sharaxaada
Adag-sare-sare	Vickers engegnaanta> 2500 HV, iska caabin xirashada iyo jajabinta.
Balaadhinta kulaylka Hoose	CTE ~ 4.5×10⁻⁶/K, taasoo awood u siinaysa xasilloonida cabbirka baaskiil wadida kulaylka.
Jilicsanaanta Kiimikada	U adkaysta HF, HCl, gaasaska balaasmaha, iyo walxaha kale ee daxalka.
Iska caabinta shoogga kulaylka heer sare ah	Ku habboon kuleyliyaha / qaboojinta degdegga ah ee nidaamka faakuumka iyo foornada.
Adag iyo Xoog Sare	Waxay taageertaa gacmaha fargeetada cantilevered ee dheer iyada oo aan leexleexan.
Hoosudhaca gaaska	Ku habboon deegaanka vacuum ultra-high (UHV).
ISO Class 1 Qol Nadiif ah oo Diyaar ah	Hawlgalka aan walxaha lahayni waxay hubisaa daacadnimada wafer.

Codsiyada

SiC Ceramic Fork Arm / End Effector ayaa si weyn loogu isticmaalaa warshadaha u baahan saxnaanta xad dhaafka ah, nadaafadda, iyo iska caabinta kiimikada. Xaaladaha codsiga muhiimka ah waxaa ka mid ah:

Samaynta Semiconductor

Soo dejinta/dejinta wafer ee meel dhigista (CVD, PVD), etching (RIE, DRIE), iyo nidaamyada nadiifinta.
Gaadiid wafer robotic ah oo u dhexeeya FOUPs, cajalado, iyo qalabyada habsocodka.
Xakamaynta heerkul sare inta lagu jiro habaynta kulaylka ama ka-saarista.

Soosaarka Unugyada Sawir-qaadista

Gaadiidka jilicsan ee maraqa silikoonka jilicsan ama substrate-ka qoraxda ee khadadka otomaatiga ah.

Bandhig Flat Panel (FPD) Warshadaha

Dhaqdhaqaaqa muraayadaha waaweyn ama substrates ee deegaanka wax soo saarka OLED/LCD.

Isku-dhafka Semiconductor / MEMS

Loo isticmaalo GaN, SiC, iyo khadadka wax-soo-saarka MEMS halkaasoo xakamaynta wasakhda iyo saxnaanta meelaynta ay muhiim u yihiin.

Doorkeeda kama dambaysta ah ayaa si gaar ah muhiim u ah hubinta cillad la'aanta, maaraynta xasilloon inta lagu jiro hawlgallada xasaasiga ah.

Awoodaha wax ka beddelidda

Waxaan bixinaa habayn ballaaran si aan u daboolno qalabka kala duwan iyo shuruudaha habka:

Naqshad Fargeeto: Laba-dhal, far badan, ama qaab-qaybsanaan.
Waafaqsanaanta Cabbirka Wafer: Laga bilaabo 2" ilaa 12" wafers.
Koritaanka Interfaces: La jaan qaada OEM hubka robotic.
Dhumucda & Dulqaadyada Dusha: Fiirsanaanta heerka-yar-yar iyo wareega geesaha waa la heli karaa.
Astaamaha Ka-hortagga-Slip-ka: textures dusha Ikhtiyaar ah ama dahaarka si ammaan ah xajin wafer.

Mid walbasaameeeyaha dhamaadka dhoobadawaxaa lala naqshadeeyay macaamiisha si loo hubiyo ku habboonaanta saxda ah ee isbeddellada ugu yar ee qalabka.

Su'aalaha Inta Badan La Isweydiiyo (FAQ)

Q1: Sidee ayuu SiC uga fiican yahay quartz ee codsiga wax qabad dhamaadka ah?
A1:Iyadoo quartz caadi ahaan loo isticmaalo nadiifnimadeeda, waxa ka maqan adkaanshaha farsamada waxayna u nugul tahay inay jabiso culeyska ama shoogga heerkulka. SiC waxay bixisaa awood sare, xidhashada iska caabbinta, iyo xasilloonida kulaylka, taas oo si weyn u yaraynaysa khatarta wakhtiga hoos u dhaca iyo waxyeelada waferka.

Q2: Gacantan fargeeto dhoobada ah miyay la socotaa dhammaan kuwa gacanta ku haya wafer-robot?
A2:Haa, soosaarayaashayada dhamaadka dhoobada waxay la jaan qaadayaan hababka maaraynta wafer-ga waaweyn badankood waxaana lagu waafajin karaa moodooyinkaaga gaarka ah ee robotiga leh sawiro injineernimo oo sax ah.

Q3: Miyuu xamili karaa 300 mm wafers iyada oo aan la kicin?
A3:Dhab ahaantii. Qalafsanaanta sare ee SiC waxay u oggolaaneysaa xitaa dhuuban, gacmo fargeeto dheer inay si ammaan ah u xajistaan 300 mm wafers iyada oo aan hoos u dhicin ama leexin inta lagu jiro dhaqdhaqaaqa.

Q4: Waa maxay nolosha adeegga caadiga ah ee saamaynta dhamaadka dhoobada SiC?
A4:Isticmaalka saxda ah, saameynaha dhamaadka SiC wuxuu socon karaa 5 ilaa 10 jeer ka dheer quartz dhaqameed ama moodooyinka aluminium, taas oo ay ugu wacan tahay caabbinta wanaagsan ee kuleylka iyo cadaadiska farsamada.

Q5: Ma bixisaa beddelaad ama adeegyo wax-soo-saarid degdeg ah?
A5:Haa, waxaanu taageernaa wax soo saarka muunada degdega ah waxaanu bixinaa adeegyo bedela oo ku salaysan sawirada CAD ama qaybo dib loo farsameeyay oo ka yimid qalabka jira.

Annaga

XKH waxay ku takhasustay horumarinta tignoolajiyada sare, wax soo saarka, iyo iibinta muraayadaha indhaha ee gaarka ah iyo agabka cusub ee crystal. Badeecadahayadu waxay u adeegaan qalabka elektarooniga ah, elektiroonigga macaamiisha, iyo militariga. Waxaan bixinaa qaybaha indhaha ee Sapphire, daboolka muraayadda taleefanka gacanta, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, iyo maraqyada crystal semiconductor. Iyada oo leh khibrad xirfad leh iyo qalab-goynta, waxaan ku fiicanahay habaynta badeecada aan caadiga ahayn, annagoo higsanayna inaan noqono hormuudka agabka optoelectronic shirkad farsamo sare leh.