SiC ceramic end effect gacan dhiibista gacanta wafer-qaadista
SiC ceramic end effector Abstract
SiC (Silicon Carbide) dhamaadka-dhammaadka dhoobada waa qayb muhiim ah oo ka mid ah nidaamyada maaraynta wafer-ka saxda ah ee saxda ah ee loo isticmaalo wax soo saarka semiconductor iyo jawiga sare ee microfabrication. Injineerin si loo buuxiyo shuruudaha baahida badan ee nadiif-nadiif ah, heerkul sare, iyo deegaan aad u deggan, saamayn-dhameedkan gaarka ah wuxuu hubinayaa in la isku halayn karo oo faddarayn la'aan ah gaadiidka waferrada inta lagu jiro tillaabooyinka wax soo saarka ee muhiimka ah sida lithography, etching, iyo dhigista.
Ka faa'iidaysiga sifooyinka sare ee silikoon carbide-sida dhaqdhaqaaqa kulaylka sare, qallafsanaanta xad dhaafka ah, qallafsanaanta kiimikaad ee heersare ah, iyo balaadhinta kulaylka ugu yar-Saamaynta dhamaadka-SiC ceramic waxay bixisaa qallafsanaan farsamo oo aan la barbar dhigi karin iyo xasilloonida cabbirka xitaa iyada oo la hoos joogo baaskiil kuleyl degdeg ah ama qolal habsocod ah. Jiilkeeda qayb hoose iyo sifooyinka caabbinta balaasmaha ayaa si gaar ah ugu habboon codsiyada ka baaraandegidda qolka nadiifka ah iyo faakuumka, halkaasoo ilaalinta hufnaanta dusha sare ee wafer iyo yaraynta wasakheynta walxaha ay yihiin kuwa ugu muhiimsan.
SiC ceramik end effector Codsiga
1. Qabashada Semiconductor Wafer
Saamaynta dhamaadka dhoobada SiC ayaa si weyn loogu isticmaalaa warshadaha semiconductor si loogu maareeyo waferrada silikoon inta lagu jiro wax soo saarka otomaatiga ah. Saamaynayaashan dhamaadka ah ayaa sida caadiga ah lagu rakibaa hubka robotka ah ama nidaamyada wareejinta faakuumka waxaana loogu talagalay inay dejiyaan maraqyada cabbirrada kala duwan sida 200mm iyo 300mm. Waxay lagama maarmaan u yihiin hababka ay ka mid yihiin Dhigista Uumiga Kiimikada (CVD), Dhigista Uumiga Jirka (PVD), etching, iyo faafinta-halkaas oo heerkul sare, xaaladaha faakuumka, iyo gaaska daxalka ay ku badan yihiin. Caabbinta kulaylka gaarka ah ee SiC iyo xasilloonida kiimikada ayaa ka dhigaysa shay ku habboon in ay u adkeysato jawiga qallafsan iyada oo aan la burburin.
2. Waafaqsanaanta qolka Nadiifinta iyo faakuumka
Goobaha nadiifka ah iyo faakuumka, halkaasoo wasakheynta walxaha ay tahay in la yareeyo, ceramics SiC waxay bixisaa faa'iidooyin la taaban karo. Maaddada cufan, oogada siman waxay ka hortagtaa jiilka walxaha, caawinta ilaalinta hufnaanta wafer inta lagu jiro gaadiidka. Tani waxay ka dhigaysaa saamaynta dhamaadka SiC si gaar ah ugu habboon hababka muhiimka ah sida Lithography Ultraviolet Lithography (EUV) iyo Dhigista Lakabka Atomiga (ALD), halkaasoo nadaafaddu muhiim tahay. Intaa waxaa dheer, SiC ee gaaska hooseeya iyo iska caabbinta balasmaha sare waxay hubisaa waxqabadka la isku halayn karo ee qolalka faakuumka, kordhinta cimriga qalabka iyo yaraynta inta jeer ee dayactirka.
3. Nidaamyada Meelaynta Saxnaanta Sare
Saxnaanta iyo xasilloonida ayaa muhiim u ah nidaamyada maaraynta wafer ee horumarsan, gaar ahaan cabbirka cabbirka, kormeerka, iyo qalabka toosinta. Ceramics-ka SiC waxay leeyihiin iskudar aad u hooseeya oo balaadhinta kulaylka iyo qallafsanaanta sare, taas oo u oggolaanaysa soo-saareha dhamaadka inuu ilaaliyo saxnaanta qaab-dhismeedkiisa xitaa iyada oo la raacayo baaskiil kulaylka ama culeyska farsamada. Tani waxay hubinaysaa in malabyadu ay si sax ah u toosan yihiin inta lagu jiro gaadiidka, iyadoo yaraynaysa khatarta xoqitaanka yaryar, qallafsanaanta, ama khaladaadka cabbirka - sababaha sii kordheysa ee muhiimka u ah qanjidhada habka-5nm.
SiC ceramic end effector Properties
1. Xoog Makaaniko Sare iyo Adag
ceramics-ka SiC waxay leeyihiin awood farsamo oo gaar ah, oo leh xoog dabacsan oo badanaa ka badan 400 MPa iyo qiyamka adkaanta Vickers ee ka sarreeya 2000 HV. Tani waxay ka dhigeysaa inay aad ugu adkeysanayaan culeyska farsamada, saameynta, iyo xirashada, xitaa ka dib isticmaalka muddada dheer ee hawlgalka. Qallafsanaanta sare ee SiC waxay sidoo kale yaraynaysaa leexashada inta lagu jiro wareejinta wafer-xawaaraha sare, iyada oo hubinaysa meelaynta saxda ah oo lagu celin karo.
2. Deganaanshiyo kulayl oo heer sare ah
Mid ka mid ah sifooyinka ugu qiimaha badan ee ceramics-ka SiC waa awoodda ay u leeyihiin inay u adkeystaan heerkulka aadka u sarreeya-badanaa ilaa 1600 ° C ee jawiga aan firfircoonayn-iyaga oo aan lumin daacadnimada farsamada. Iskudarkooda hoose ee balaadhinta kulaylka (~ 4.0 x 10⁻⁶ / K) waxay hubisaa xasilloonida cabbirka ee baaskiil wadida kulaylka, taasoo ka dhigaysa inay ku habboon yihiin codsiyada sida CVD, PVD, iyo annealing heerkul sare ah.
Su'aalaha iyo jawaabaha SiC ceramic end effector
S: Waa maxay walaxda loo isticmaalo dhamaadka wafer-ka?
A:Waxyeeleyaasha dhamaadka wafer-ka waxaa sida caadiga ah laga sameeyaa maaddooyinka bixiya awood sare, xasilloonida kulaylka, iyo abuurista walxaha hoose. Kuwaas waxaa ka mid ah, Silicon Carbide (SiC) dhoobada waa mid ka mid ah kuwa ugu horumarsan oo la doorbido. Ceramics-ka SiC waa mid aad u adag, kulayl ahaan deggan, kiimiko ahaan aan shaqaynayn, oo adkaysi u leh xidhashada, taas oo ka dhigaysa mid ku habboon in lagu maareeyo maraqyada silikoon ee jilicsan ee qolka nadiifka ah iyo meelaha faaruqa ah. Marka la barbar dhigo quartz ama biraha dahaarka leh, SiC waxay bixisaa xasillooni cabbir heersare ah oo hoos timaada heerkulka sare mana daadin walxaha, taas oo ka caawisa ka hortagga faddaraynta.
