Saxanka dhoobada ah ee SiC Koobabka nuugista dhoobada ah ee saxda ah ee la habeeyey
Astaamaha qalabka:
1. Adkaysi Sare: Adkaysiga Mohs ee silicon carbide waa 9.2-9.5, kan labaadna waa dheeman, oo leh iska caabin adag oo xirasho.
2. Daawaynta kulaylka sare: Daawaynta kulaylka ee carbide-ka silicon wuxuu gaarayaa 120-200 W/m·K, kaas oo si dhakhso ah u baabi'in kara kulaylka wuxuuna ku habboon yahay deegaanka heerkulka sare.
3. Isugeynta ballaarinta kulaylka oo hooseysa: Isugeynta ballaarinta kulaylka ee silikoon carbide waa hooseysaa (4.0-4.5×10⁻⁶/K), wali waxay ilaalin kartaa xasilloonida cabbirka heerkulka sare.
4. Xasiloonida kiimikada: aashitada carbide-ka ee silicon iyo iska caabbinta daxalka alkali, oo ku habboon in loo isticmaalo deegaanka daxalka kiimikada.
5. Awood farsamo oo sare: carbide-ka silicon wuxuu leeyahay xoog qalloocan oo sare iyo xoog cadaadis, wuxuuna u adkeysan karaa cadaadis farsamo oo weyn.
Astaamaha:
1. Warshadaha semiconductor-ka, buskud aad u khafiif ah ayaa loo baahan yahay in lagu dhejiyo koob nuugid faakiyuum ah, nuugista faakiyuumka waxaa loo isticmaalaa in lagu hagaajiyo buskudka, habka wax-soo-saarka, khafiifinta, wax-soo-saarka, nadiifinta iyo jarista ayaa lagu sameeyaa buskudka.
2. Nuugista carbide-ka ee Silicon waxay leedahay hab-socod kuleyl oo wanaagsan, waxay si wax ku ool ah u gaabin kartaa waqtiga nuugista iyo nuugista, waxayna hagaajin kartaa waxtarka wax soo saarka.
3. Soo nuugista faakuumka ee Silicon carbide sidoo kale waxay leedahay iska caabin wanaagsan oo aashitada iyo alkali ah.
4. Marka la barbardhigo saxanka side-ka ee corundum-ka dhaqameed, wuxuu soo gaabiyaa waqtiga kululaynta iyo qaboojinta rarista iyo dejinta, wuxuu hagaajiyaa hufnaanta shaqada; Isla mar ahaantaana, wuxuu yareyn karaa xirashada u dhaxaysa saxannada sare iyo kuwa hoose, wuxuu ilaalin karaa saxnaanta diyaaradda oo wanaagsan, wuxuuna kordhin karaa cimriga adeegga qiyaastii 40%.
5. Saamiga agabku waa mid yar, miisaan fudud. Way u fududahay hawl wadeennada inay qaadaan baallooyinka, taasoo yaraynaysa khatarta burburka shilalka ee ay keenaan dhibaatooyinka gaadiidka qiyaastii 20%.
6. Cabbirka: dhexroorka ugu badan 640mm; Fidsanaan: 3um ama ka yar
Goobta Codsiga:
1. Soo saarista Semiconductor-ka
● Habaynta Wafer-ka:
Si loo hagaajiyo wafer-ka ee sawir-qaadista, xoqidda, dhigista filimka khafiifka ah iyo hababka kale, hubinta saxnaanta sare iyo isku-dheellitirka habka. Heerkulka sare iyo iska caabbinta daxalka ayaa ku habboon deegaannada wax-soo-saarka semiconductor-ka ee adag.
●Kobaca xudunta laf-dhabarta:
Kobaca epitaxial ee SiC ama GaN, sida side si loo kululeeyo loona hagaajiyo buskudka, hubinta isku mid ahaanshaha heerkulka iyo tayada kiristaalka heerkulka sare, hagaajinta waxqabadka qalabka.
2. Qalabka sawir-qaadista
● Soo saarista LED-ka:
Waxaa loo isticmaalaa in lagu hagaajiyo substrate-ka safayr ama SiC, iyo sidii side kuleyliye ah habka MOCVD, si loo hubiyo isku-darka koritaanka epitaxial, loo hagaajiyo hufnaanta iftiinka LED-ka iyo tayada.
● Laysar diode:
Sida qalab sax ah oo sareeya, hagaajin iyo kuleylin substrate si loo hubiyo xasilloonida heerkulka habka, loo hagaajiyo awoodda wax soo saarka iyo isku halaynta diode laser-ka.
3. Mashiinka saxda ah
● Habaynta qaybaha indhaha:
Waxaa loo isticmaalaa hagaajinta qaybaha saxda ah sida muraayadaha indhaha iyo shaandheeyayaasha si loo hubiyo saxnaanta sare iyo wasakhowga hooseeya inta lagu jiro farsamaynta, waxayna ku habboon tahay mashiinka xoojinta sare.
● Habaynta dhoobada:
Iyada oo ah qalab xasilloon oo sare leh, waxay ku habboon tahay farsamaynta saxda ah ee walxaha dhoobada si loo hubiyo saxnaanta mashiinka iyo isku-xirnaanta heerkulka sare iyo jawiga daxalka leh.
4. Tijaabooyin cilmiyeed
● Tijaabo heerkul sare leh:
Iyada oo ah qalab muunad ah oo lagu hagaajinayo jawiga heerkulka sare, waxay taageertaa tijaabooyinka heerkulka xad-dhaafka ah ee ka sarreeya 1600°C si loo hubiyo isku mid ahaanshaha heerkulka iyo xasilloonida muunadda.
● Tijaabada faakuumka:
Sida muunad hagaajin iyo kuleyliye ah oo ku jira jawi faakiyuum ah, si loo hubiyo saxnaanta iyo ku celcelinta tijaabada, oo ku habboon dahaarka faakiyuumka iyo daaweynta kulaylka.
Tilmaamaha farsamada:
| (Hantida agabka) | (Cutub) | (ssic) | |
| (Waxyaabaha SiC) |
| (Qaybta)% | >99 |
| (Celceliska cabbirka hadhuudhka) |
| micron | 4-10 |
| (Cufnaanta) |
| kg/dm3 | >3.14 |
| (Dulfur muuqda) |
| Vo1% | <0.5 |
| (Adkaanshaha Vickers) | HV 0.5 | GPA | 28 |
| *( Xoogga dabacsanaanta) | 20ºC | MPA | 450 |
| (Awood cadaadis leh) | 20ºC | MPA | 3900 |
| (Modulus Lalab ah) | 20ºC | GPA | 420 |
| (Adkeysiga jabka) |
| MPa/m'% | 3.5 |
| (Kordhinta kulaylka) | 20°°C | W/(m*K) | 160 |
| (Is-caabinta) | 20°°C | Ohm.cm | 106-108 |
|
| a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
|
|
| oºC | 1700 |
Iyada oo sannado badan oo waayo-aragnimo farsamo iyo warshadeed ah, XKH waxay awood u leedahay inay habayso xuduudaha muhiimka ah sida cabbirka, habka kululaynta iyo naqshadeynta nuugista faakuumka ee chuck iyadoo loo eegayo baahiyaha gaarka ah ee macaamiisha, iyadoo hubinaysa in badeecaddu si fiican ugu habboon tahay habka macaamiisha. chucks-ka dhoobada ah ee SiC silicon carbide waxay noqdeen qaybo aan lagama maarmaan u ah habaynta wafer, koritaanka epitaxial iyo hababka kale ee muhiimka ah sababtoo ah hufnaantooda kulaylka ee aadka u fiican, xasilloonida heerkulka sare iyo xasilloonida kiimikada. Gaar ahaan soo saarista agabka semiconductor-ka ee jiilka saddexaad sida SiC iyo GaN, baahida loo qabo chucks-ka dhoobada ah ee silicon carbide ayaa sii kordheysa. Mustaqbalka, iyadoo la horumarinayo si degdeg ah 5G, gawaarida korontada ku shaqeeya, sirdoonka macmalka ah iyo teknoolojiyada kale, rajada codsiga ee chucks-ka dhoobada ah ee silicon carbide ee warshadaha semiconductor-ka ayaa noqon doonta mid ballaaran.
Jaantus Faahfaahsan
