6inch SiC Wafer Epitaxiy Nooca N/P waa la aqbalayaa oo la habeeyey

Habka diyaarinta wafer-ka epitaxial ee silicon carbide waa hab loo adeegsado teknoolojiyadda Kiimikada Uumi-baxa (CVD). Kuwa soo socda waa mabaadi'da farsamo ee khuseeya iyo tallaabooyinka habka diyaarinta:

Mabda'a farsamo:

Kala-goynta Uumiga Kiimikada: Iyada oo la adeegsanayo gaaska ceeriin ee marxaladda gaaska, xaaladaha falcelinta gaarka ah, waa la burburiyaa oo lagu shubaa substrate-ka si loo sameeyo filimka khafiifka ah ee la rabo.

Falcelinta wejiga gaaska: Iyada oo loo marayo falgalka pyrolysis ama falgalka dillaaca, gaasaska kala duwan ee walxaha ceeriin ah ee marxaladda gaaska ayaa si kiimiko ah loogu beddelaa qolka falgalka.

Tallaabooyinka habka diyaarinta:

Daawaynta Substrate-ka: Substrate-ka waxaa lagu nadiifiyaa dusha sare iyo ka hor daaweynta si loo hubiyo tayada iyo crystallinity-ga wafer-ka epitaxial-ka.

Hagaajinta qolka falcelinta: hagaaji heerkulka, cadaadiska iyo heerka socodka qolka falcelinta iyo xuduudaha kale si loo hubiyo xasilloonida iyo xakamaynta xaaladaha falcelinta.

Sahayda alaabta ceeriin: ku shub walxaha ceeriin ee gaaska ee loo baahan yahay qolka falcelinta, isku darka iyo xakamaynta heerka socodka sida loogu baahdo.

Habka falcelinta: Marka la kululeeyo qolka falcelinta, kaydka gaaska wuxuu maraa falgal kiimiko ah qolka si uu u soo saaro kaydka la rabo, tusaale ahaan filimka carbide-ka ee silicon.

Qaboojinta iyo dejinta: Dhamaadka falcelinta, heerkulka si tartiib tartiib ah ayaa loo dhimaa si uu u qaboojiyo oo uu u adkeeyo kaydka qolka falcelinta.

Daadinta Wafer-ka Epitaxial iyo ka dib-u-habaynta: Wafer-ka epitaxial-ka ee la dhigay waa la damiyaa oo dib loo warshadeeyaa si loo horumariyo sifooyinkeeda korontada iyo indhaha.

Tallaabooyinka iyo xaaladaha gaarka ah ee habka diyaarinta wafer-ka silikoon carbide epitaxial wafer way kala duwanaan karaan iyadoo ku xiran qalabka iyo shuruudaha gaarka ah. Kuwa kor ku xusan waa oo keliya socodka iyo mabda'a guud ee habka, hawlgalka gaarka ah wuxuu u baahan yahay in la hagaajiyo oo la hagaajiyo iyadoo loo eegayo xaaladda dhabta ah.