2 inji 4 inji 6 inji Sapphire Substrate ah oo qaabaysan (PSS) kaas oo lagu beero walxaha GaN ayaa loo isticmaali karaa nalalka LED-ka

Sharaxaad Gaaban:

Substrate-ka safayr-ka ee qaabaysan (PSS) waa maaskaro loogu talagalay xoqidda qalalan ee substrate-ka safayr-ka, maaskarada waxaa lagu xardhay qaab iyadoo la raacayo habka lithography-ga caadiga ah, ka dibna safayr-ka waxaa lagu xardhay tignoolajiyada qallajinta ICP, maaskaradana waa la saaraa, ugu dambayntiina walxaha GaN ayaa lagu beeraa, si epitaxy-ga dhererka leh ee walxaha GaN uu u noqdo epitaxy toosan. Hawshani waxay ku lug leedahay dhowr tallaabo sida dahaarka photoresist, soo-gaadhista tallaabooyinka, horumarinta qaabka soo-gaadhista, qallajinta ICP iyo nadiifinta.


Astaamaha

Astaamaha ugu muhiimsan

1. Astaamaha qaab-dhismeedka:
Dusha sare ee PSS waxay leedahay qaab koonto ah oo nidaamsan ama qaab saddex-xagal ah oo qaabkiisa, cabbirkiisa iyo qaybintiisuba lagu xakamayn karo iyadoo la hagaajinayo xuduudaha habka qodista.
Qaab-dhismeedyadan sawir-gacmeedka ah waxay gacan ka geystaan ​​​​beddelidda waddada faafinta iftiinka waxayna yareeyaan iftiinka oo dhan, sidaas darteedna waxay hagaajinayaan hufnaanta soo saarista iftiinka.

2. Astaamaha Agabka:
PSS waxay u isticmaashaa safayr tayo sare leh sida walxaha substrate-ka, kaas oo leh astaamo adag oo sare, kuleyl sare, xasillooni kiimiko oo wanaagsan iyo hufnaan aragtiyeed.
Astaamahani waxay awood u siinayaan PSS inay u adkaysato jawi adag sida heerkulka sare iyo cadaadiska iyadoo la ilaalinayo waxqabadka indhaha ee aadka u fiican.

3. Waxqabadka indhaha:
Iyadoo la beddelayo kala firdhinta badan ee isku xirka u dhexeeya GaN iyo substrate-ka safayr, PSS waxay ka dhigaysaa photons-ka si buuxda uga muuqda lakabka GaN inay fursad u helaan inay ka baxsadaan substrate-ka safayr.
Astaantan waxay si weyn u hagaajinaysaa hufnaanta soo saarista iftiinka ee LED-ka waxayna kor u qaadaysaa xoogga iftiinka ee LED-ka.

4. Astaamaha habka:
Habka wax soo saarka ee PSS waa mid aad u adag, oo ku lug leh tallaabooyin badan sida lithography iyo etching, waxayna u baahan tahay qalab sax ah iyo xakamaynta habka.
Si kastaba ha ahaatee, iyadoo la marayo horumarka joogtada ah ee tignoolajiyada iyo dhimista kharashyada, habka wax soo saarka ee PSS si tartiib tartiib ah ayaa loo hagaajiyaa loona hagaajiyaa.

Faa'iidada ugu muhiimsan

1. Hagaajinta hufnaanta soo saarista iftiinka: PSS waxay si weyn u horumarisaa hufnaanta soo saarista iftiinka ee LED-ka iyadoo la beddelayo waddada faafinta iftiinka iyo yareynta milicsiga guud.

2. Cimriga LED-ka oo dheeraada: PSS waxay yareyn kartaa cufnaanta kala-baxa ee agabka epitaxial-ka GaN, taasoo yaraynaysa isku-darka aan shucaaca lahayn iyo qulqulka daadashada ee gobolka firfircoon, taasoo kordhinaysa cimriga LED-ka.

3. Hagaajinta dhalaalka LED-ka: Sababtoo ah horumarinta hufnaanta soo saarista iftiinka iyo kordhinta cimriga LED-ka, xoojinta iftiinka LED-ka ee PSS si weyn ayaa loo xoojiyay.

4. Yaree kharashyada wax soo saarka: Inkasta oo habka wax soo saarka ee PSS uu yahay mid aad u adag, haddana waxay si weyn u hagaajin kartaa hufnaanta iftiinka iyo cimriga LED-ka, taasoo hoos u dhigaysa kharashyada wax soo saarka ilaa xad iyo hagaajinta tartanka badeecada.

Meelaha ugu muhiimsan ee codsiga

1. Nalalka LED-ka: PSS oo ah walxo substrate ah oo loogu talagalay jajabyada LED-ka, waxay si weyn u hagaajin kartaa hufnaanta iftiinka iyo cimriga LED-ka.
Dhanka nalalka LED-ka, PSS waxaa si weyn loogu isticmaalaa alaabada kala duwan ee nalalka, sida nalalka waddooyinka, nalalka miiska, nalalka baabuurta iwm.

2. Qalabka Semiconductor-ka: Marka laga soo tago nalalka LED-ka, PSS waxaa sidoo kale loo isticmaali karaa in lagu soo saaro aaladaha kale ee semiconductor-ka, sida qalabka lagu ogaado iftiinka, laysarka, iwm. Qalabkani wuxuu leeyahay codsiyo badan oo ku saabsan isgaarsiinta, caafimaadka, militariga iyo qaybaha kale.

3. Isdhexgalka Optoelectronic: Sifooyinka indhaha iyo xasilloonida PSS waxay ka dhigayaan mid ka mid ah agabka ugu habboon ee ku jira is-dhexgalka optoelectronic. Is-dhexgalka optoelectronic, PSS waxaa loo isticmaali karaa in lagu sameeyo hagaha hirarka indhaha, furayaasha indhaha iyo qaybaha kale si loo xaqiijiyo gudbinta iyo habaynta calaamadaha indhaha.

Xuduudaha farsamada

Shay Substrate Sapphire ah oo qaabaysan (2 ~ 6 inji)
Dhexroorka 50.8 ± 0.1 mm 100.0 ± 0.2 mm 150.0 ± 0.3 mm
Dhumucda 430 ± 25μm 650 ± 25μm 1000 ± 25μm
Jihaynta Dusha Sare C-plane (0001) oo ka baxsan xagasha dhanka M-dhidibka (10-10) 0.2 ± 0.1°
C-plane (0001) oo ka baxsan xagasha dhanka A-dhidibka (11-20) 0 ± 0.1°
Jihada Fidsan ee Aasaasiga ah Diyaarad A (11-20) ± 1.0°
Dhererka Fidsan ee Aasaasiga ah 16.0 ± 1.0 mm 30.0 ± 1.0 mm 47.5 ± 2.0 mm
R-Plane 9-saac
Dhammaadka Dusha Hore Qaabaysan
Dhammaystirka Dusha Dambe SSP:Dhul fiican, Ra=0.8-1.2um; DSP:Daabacsan, Ra<0.3nm
Calaamadda laysarka Dhinaca dambe
TV-ga ≤8μm ≤10μm ≤20μm
QAANSO ≤10μm ≤15μm ≤25μm
WARP ≤12μm ≤20μm ≤30μm
Ka-saarista Cidhifka ≤2 mm
Qeexitaanka Qaabka Qaab-dhismeedka Qaabka Dome, Koon, Ahraam
Dhererka Qaabka 1.6 ~ 1.8μm
Dhexroorka Qaabka 2.75 ~ 2.85μm
Meel Qaabaysan 0.1~0.3μm

XKH waxay diiradda saareysaa horumarinta, soo saarista iyo iibinta substrate-ka sapphire-ka ee qaabaysan (PSS), waxayna ka go'an tahay inay macaamiisha adduunka oo dhan siiso alaabada PSS tayo sare leh oo waxqabad sare leh. XKH waxay leedahay tignoolajiyada wax soo saarka ee horumarsan iyo koox farsamo oo xirfad leh, kuwaas oo habayn kara alaabada PSS oo leh qeexitaanno kala duwan iyo qaab-dhismeedyo kala duwan iyadoo loo eegayo baahiyaha macaamiisha. Isla mar ahaantaana, XKH waxay fiiro gaar ah u leedahay tayada badeecadaha iyo tayada adeegga, waxayna ka go'an tahay inay macaamiisha siiso taageero farsamo oo dhammaystiran iyo xalal. Dhinaca PSS, XKH waxay urursatay waayo-aragnimo iyo faa'iidooyin qani ah, waxayna rajeyneysaa inay si wadajir ah ula shaqeyso la-hawlgalayaasha caalamiga ah si ay si wadajir ah u horumariyaan horumarinta hal-abuurka leh ee nalalka LED-ka, aaladaha semiconductor-ka iyo warshadaha kale.

Jaantus Faahfaahsan

Substrate Sapphire ah oo qaabaysan (PSS) 6
Substrate Sapphire ah oo qaabaysan (PSS) 5
Substrate Sapphire ah oo qaabaysan (PSS) 4

  • Kii hore:
  • Xiga:

  • Halkan ku qor fariintaada oo noo soo dir