Fahamka Qoto dheer ee Nidaamka SPC ee Soo saarista Wafer

1. Dulmarka Nidaamka SPC

SPC waa hab adeegsada farsamooyinka tirakoobka si loo kormeero loona xakameeyo hababka wax soo saarka. Shaqadeeda udub-dhexaadka ah waa in la ogaado cilladaha ku jira habka wax soo saarka iyada oo la ururinayo oo la falanqeynayo xogta wakhtiga dhabta ah, ka caawinta injineerada inay sameeyaan isbedelo iyo go'aamo waqtigooda ah. Hadafka SPC waa in la dhimo kala duwanaanshiyaha habka wax soo saarka, hubinta in tayada alaabadu ay ahaan doonto mid deggan oo buuxisa shuruudaha.

SPC waxa loo istcimaalaa habka xoqidda si:

La soco cabbirrada qalabka muhiimka ah (tusaale, heerka etch, awoodda RF, cadaadiska qolka, heerkulka, iwm.)

Falanqee tilmaamayaasha tayada alaabta muhiimka ah (tusaale, linewidth, etch qoto dheer, qallafsanaanta gees, iwm.)

Marka la kormeero halbeegyadan, injineeradu waxay ogaan karaan isbeddellada muujinaya hoos u dhaca waxqabadka qalabka ama leexashada habka wax soo saarka, sidaas darteed hoos u dhigista heerarka qashinka.

2. Qaybaha aasaasiga ah ee Nidaamka SPC

Nidaamka SPC wuxuu ka kooban yahay dhowr qaybood oo muhiim ah:

Module Xog ururin: Wuxuu ururiyaa xogta wakhtiga dhabta ah qalabka iyo socodka habka (tusaale, iyada oo loo marayo FDC, nidaamyada EES) wuxuuna diiwaangeliyaa cabbirada muhiimka ah iyo natiijooyinka wax soo saarka.

Module Chart Control: Wuxuu adeegsadaa jaantusyada kontoroolka tirakoobka (tusaale, shaxda X-Bar, jaantuska R, jaantuska Cp/Cpk) si loo arko xasilloonida habka iyo in uu ka caawiyo go'aaminta in habka uu yahay mid gacanta lagu hayo.

Nidaamka Alaarmiga: Waxa uu kiciyaa qaylo-dhaanta marka cabbirrada muhiimka ahi ay dhaafaan xadka xakamaynta ama ay muujiyaan isbeddellada isbeddellada, taas oo ku dhiirrigelisa injineerada inay tallaabo qaadaan.

Falanqaynta iyo Habka Warbixinta: Wuxuu falanqeeyaa asalka asalka cilladaha ku salaysan jaantusyada SPC oo si joogto ah u soo saara warbixinnada waxqabadka ee habka iyo qalabka.

3. Sharaxaada faahfaahsan ee jaantusyada xakamaynta ee SPC

Jaantusyada xakamaynta ayaa ah mid ka mid ah aaladaha inta badan loo isticmaalo SPC, iyagoo ka caawinaya in la kala saaro "kala duwanaanshiyaha caadiga ah" (oo ay sababto kala duwanaanshiyaha habka dabiiciga ah) iyo "kala duwanaansho aan caadi ahayn" (oo ay sababto cilladaha qalabka ama leexashada habka). Jaantusyada xakamaynta guud waxaa ka mid ah:

Shaxda X-Bar iyo R: Waxaa loo isticmaalaa in lagu kormeero celceliska iyo inta u dhexeysa dufcadaha wax soo saarka si loo eego haddii habka uu yahay mid deggan.

Cp iyo Cpk Indices: Waxaa loo isticmaalaa in lagu cabbiro awoodda habka, ie, in wax soo saarka geeddi-socodku uu si joogto ah u buuxin karo shuruudaha qeexitaanka. Cp waxa ay cabbirtaa awoodda suurtagalka ah, halka Cpk ay tixgalinayso ka leexashada xarunta geeddi-socodka ee xadka qeexida.

Tusaale ahaan, habka etching, waxaad la socon kartaa cabbirrada sida heerka etch iyo qallafsanaanta dusha sare. Haddii qiyaasta qalabka qayb ka mid ah ay dhaafto xadka xakamaynta, waxaad isticmaali kartaa jaantusyada xakamaynta si aad u go'aamiso in kani yahay kala duwanaansho dabiici ah ama calaamad muujinaysa cillad qalabku.

4. Codsiga SPC ee Qalabka Etching

Geedi-socodka xajinta, xakamaynta cabbirrada qalabku waa muhiim, SPC-na waxay gacan ka geysataa hagaajinta xasilloonida habka hababka soo socda:

Kormeerka Xaaladda Qalabka: Nidaamyada sida FDC waxay ururiyaan xogta waqtiga-dhabta ah ee xuduudaha muhiimka ah ee qalabka etching (tusaale, awoodda RF, socodka gaaska) oo ku dara xogtan jaantusyada xakamaynta SPC si loo ogaado arrimaha qalabka ee suurtogalka ah. Tusaale ahaan, haddii aad aragto in awoodda RF ee jaantuska kontoroolka ay si tartiib tartiib ah uga leexanayso qiimihii loo dejiyay, waxaad qaadi kartaa tallaabo hore oo lagu hagaajinayo ama dayactirka si looga fogaado inay saameyn ku yeelato tayada alaabta.

Kormeerka Tayada Alaabta: Waxa kale oo aad geli kartaa cabbirada tayada alaabta muhiimka ah (tusaale, qoto dheer, linewidth) nidaamka SPC si aad ula socoto xasilloonidooda. Haddii qaar ka mid ah tilmaamayaasha alaabada muhiimka ah ay si tartiib tartiib ah uga leexdaan qiyamka la beegsanayo, nidaamka SPC wuxuu soo saari doonaa qaylo-dhaan, taasoo muujinaysa in habraaca habraaca loo baahan yahay.

Dayactirka Ka Hortagga ah (PM): SPC waxay gacan ka geysan kartaa hagaajinta wareegga dayactirka ka hortagga qalabka. Adiga oo falanqaynaya xogta muddada-dheer ee waxqabadka qalabka iyo natiijooyinka habka, waxaad go'aamin kartaa wakhtiga ugu fiican ee dayactirka qalabka. Tusaale ahaan, la socodka awoodda RF iyo cimriga ESC, waxaad go'aamin kartaa marka nadiifinta ama beddelka qaybaha loo baahan yahay, hoos u dhigista heerarka qalabka iyo wakhtiga wax soo saarka.

5. Tilmaamaha Isticmaalka Maalinlaha ah ee Nidaamka SPC

Markaad isticmaalayso nidaamka SPC ee hawl maalmeedka, tillaabooyinka soo socda ayaa la raaci karaa:

Qeex Qiyaasaha Xakamaynta Furaha (KPI): Aqoonso halbeegyada ugu muhiimsan ee habka wax soo saarka oo ku dar la socodka SPC. Halbeegyadani waa inay si dhow ula xiriiraan tayada alaabta iyo waxqabadka qalabka.

Deji Xadka Xakamaynta iyo Xadka Alaarmiga: Iyada oo ku saleysan xogta taariikhiga ah iyo shuruudaha nidaamka, deji xaddidaad kontorool oo macquul ah iyo xadka qaylo-dhaanta ee cabbir kasta. Xadka xakamaynta waxaa badanaa lagu dejiyaa ± 3σ ( weecsanaanta caadiga ah), halka xadka digniinta ay ku saleysan yihiin shuruudaha gaarka ah ee habka iyo qalabka.

Kormeer joogto ah iyo Falanqaynta: Si joogto ah dib u eeg jaantusyada kontoroolka SPC si loo falanqeeyo isbeddellada xogta iyo kala duwanaanshaha. Haddii xuduudaha qaarkood ay dhaafaan xadka xakamaynta, ficil degdeg ah ayaa loo baahan yahay, sida hagaajinta cabbirada qalabka ama samaynta dayactirka qalabka.

Wax ka qabashada aan caadiga ahayn iyo Falanqaynta Sababta Xididka: Marka cillad aan caadi ahayn dhacdo, nidaamka SPC wuxuu diiwaangeliyaa macluumaad faahfaahsan oo ku saabsan dhacdada. Waxaad u baahan tahay inaad xalliso oo aad falanqeyso sababta asaasiga ah ee cilladda iyadoo ku saleysan macluumaadkan. Inta badan waa suurtagal in la isku daro xogta nidaamyada FDC, nidaamyada EES, iwm., si loo falanqeeyo haddii arrintu ay sabab u tahay cilladda qalabka, habka leexinta, ama arrimo deegaanka dibadda ah.

Horumarinta Joogtada ah: Isticmaalka xogta taariikhiga ah ee uu duubay nidaamka SPC, cadee meelaha daciifka ah ee habka oo soo jeedi qorshooyinka hagaajinta. Tusaale ahaan, habka etching, falanqee saamaynta ESC ee cimriga iyo hababka nadiifinta ee wareegyada dayactirka qalabka oo si joogto ah u tayadoodii qalabka hawlgalka.

6. Kiiska Codsiga Waxqabadka

Tusaale ahaan, ka soo qaad inaad mas'uul ka tahay qalabka E-MAX, oo qolka cathode-ku uu la kulmaayo daal dhicis ah, taasoo horseedaysa kororka qiyamka D0 (Cillad BARC). Markaad la socoto awoodda RF iyo heerka etch iyadoo loo marayo nidaamka SPC, waxaad arkaysaa isbeddel halkaasoo cabbiradani ay si tartiib tartiib ah uga leexanayaan qiyamkooda. Ka dib markii alaarmiga SPC uu kiciyo, waxaad isku daraysaa xogta nidaamka FDC oo aad go'aaminayso in arrintu ay sababtay xakamaynta heerkulka aan degganayn ee qolka dhexdiisa. Waxaad markaa hirgelinaysaa habab cusub oo nadiifin ah iyo xeelado dayactir, aakhirka waxaad yaraynaysaa qiimaha D0 laga bilaabo 4.3 ilaa 2.4, si kor loogu qaado tayada alaabta.

7.XINKEHUI waxaad ka heli kartaa.

XINKEHUI, waxaad ku gaari kartaa waferka ugu fiican, hadday tahay wafer silikoon ama wafer SiC ah. Waxaan ku takhasusnay gaarsiinta waferrada tayada sare leh ee warshado kala duwan, annagoo diiradda saarayna saxnaanta iyo waxqabadka.