Tusmada Mawduuca
1. Dulmar guud iyo Hawlaha Aasaasiga ah ee FOUP
2. Qaab-dhismeedka iyo Naqshadeynta FOUP
3. Kala-soocidda iyo Tilmaamaha Codsiga ee FOUP
4. Hawlgallada iyo Muhiimadda FOUP ee Wax-soo-saarka Semiconductor-ka
5. Caqabadaha Farsamada iyo Isbeddellada Horumarinta Mustaqbalka
6.Xalalka iyo Taageerada Adeegga ee XKH ee Gaarka loo Leeyahay
Habka wax soo saarka semiconductor-ka, Four Opening Unified Pod (FOUP) waa weel muhiim ah oo loo isticmaalo ilaalinta, rarista, iyo kaydinta buskudka. Gudaha wuxuu qaadi karaa 25 xabbo oo buskud 300mm ah, qaybaha ugu muhiimsanna waxaa ka mid ah weel hore u furan iyo qaab albaab oo loogu talagalay furitaanka iyo xidhitaanka. FOUP waa side udub dhexaad u ah nidaamka gaadiidka otomaatiga ah ee ku jira buskudka buskudka 12 inji ah. Caadiyan waxaa lagu qaadaa xaalad xiran waxayna furmeysaa oo keliya marka la riixo dekedda rarista qalabka, taasoo u oggolaanaysa buskudka in loo wareejiyo dekedda rarista/dejinta qalabka.
Naqshadeynta FOUP waxaa loo habeeyey shuruudaha deegaanka yar yar. Waxay leedahay godad gadaale ah oo loogu talagalay gelinta wafer-ka, daboolkana waxaa si gaar ah loogu talagalay inuu la jaanqaado qabsashada furaha. Robot-yada gacanta ku haya wafer-ka waxay ku shaqeeyaan jawi hawo nadiif ah oo Fasalka 1aad ah, iyagoo hubinaya in wafer-ku aysan wasakhoobin inta lagu jiro gudbinta. Intaa waxaa dheer, FOUP waxaa loo wareejiyaa qalabka habka iyada oo loo marayo nidaamka maaraynta walxaha otomaatiga ah (AMHS). Wafer-ka casriga ah badanaa waxay isticmaalaan nidaamyada tareenka ee dusha sare ee gaadiidka, halka dhowr wafer oo duug ah ay isticmaali karaan gawaarida hagaya ee otomaatiga ah ee dhulka ku salaysan (AGVs).
FOUP ma aha oo kaliya inuu suurtogaliyo wareejinta wafer-ka otomaatiga ah laakiin sidoo kale wuxuu u adeegaa shaqo kaydin. Tallaabooyinka badan ee wax soo saarka awgeed, wafer-ku waxay qaadan karaan bilo si loo dhammaystiro socodka hawsha oo dhan. Marka lagu daro mugga wax soo saarka bishii oo sarreeya, tani waxay ka dhigan tahay in tobanaan kun oo wafer ah oo ku jira warshad ay si joogto ah ugu jiraan kaydinta ama kaydinta ku meel gaarka ah wakhti kasta. Inta lagu jiro kaydinta, FOUP-yada waxaa si joogto ah loogu nadiifiyaa nitrogen si looga hortago in wasakhdu ay la xiriirto wafer-yada, taasoo hubinaysa hab wax soo saar oo nadiif ah oo la isku halleyn karo.
1. Hawlaha iyo Muhiimadda FOUP
Shaqada ugu muhiimsan ee FOUP waa inay ka ilaaliso buskudka shoogga dibadda iyo wasakhowga, gaar ahaan ka fogaanshaha saameynta wax soo saarka inta lagu jiro wareejinta. Waxay si wax ku ool ah uga hortagtaa qoyaanka iyada oo loo marayo hababka sida nadiifinta gaaska iyo Xakamaynta Jawiga Deegaanka (LAC), hubinta in buskudku ay ku sii jiraan xaalad ammaan ah inta ay sugayaan tallaabada soo socota ee wax soo saarka. Nidaamkeeda shaabadaysan oo la xakameeyey wuxuu u oggolaanayaa oo keliya isku-dhafka iyo walxaha lagama maarmaanka ah inay soo galaan, taasoo si weyn u yareynaysa saameynta xun ee VOCs, oksijiin, iyo qoyaanka buskudka.
Maadaama FOUP oo si buuxda u buuxan oo leh 25 wafers ay miisaankoodu gaari karo ilaa 9 kiilogaraam, gaadiidkiisu waa inuu ku tiirsanaadaa Nidaamka Maareynta Agabka ee Otomaatigga ah (AMHS). Si loo fududeeyo tan, FOUP waxaa loogu talagalay isku-darka kala duwan ee taarikada isku-xidhka, biinanka, iyo godadka, waxaana lagu qalabeeyay calaamadaha elektaroonigga ah ee RFID si loo fududeeyo aqoonsiga iyo kala-soocidda. Maareynta otomaatiga ah uma baahna ku dhawaad hawlgal gacan-qabsi ah, taasoo si weyn u yareyneysa heerarka khaladaadka iyo kor u qaadista badbaadada iyo saxnaanta habka wax soo saarka.
2. Qaab-dhismeedka iyo Kala-soocidda FOUP
Cabbirrada caadiga ah ee FOUP waa qiyaastii 420 mm ballac ahaan, 335 mm qoto dheer ahaan, iyo 335 mm dherer ahaan. Qaybaha ugu muhiimsan ee qaab-dhismeedka waxaa ka mid ah: OHT sare (madaxa boqoshaada) oo loogu talagalay gaadiidka kor u qaadista; Albaab hore oo loogu talagalay marin u helidda wafer qalabka; Gacanta dhinaca, oo inta badan midab leh si loo kala saaro meelaha habka loo maro ee leh heerarka wasakheynta kala duwan; aagga Kaarka ee lagu dhejinayo kaararka fariimaha; iyo sumadda RFID ee hoose oo u adeegta aqoonsiga gaarka ah ee FOUP, taasoo u oggolaanaysa qalabka iyo kuwa kor u qaadaya inay aqoonsadaan. Saldhigga waxaa sidoo kale ku qalabaysan afar godad oo aqoonsi iyo meelayn ah si loogu waafajiyo qalabka iyo meelaha lagu kala saaro qaybaha habka.
Iyada oo ku saleysan isticmaalka, FOUP-yada waxaa loo kala saaraa saddex nooc: PRD (wax soo saar), ENG (wafer injineernimo), iyo MON (wafer kormeer ah). FOUP-yada PRD waxaa loo isticmaali karaa wax soo saarka badeecadaha, noocyada ENG waxay ku habboon yihiin R&D ama tijaabooyinka, noocyada MON-na waxay u heellan yihiin la socodka habka tallaabooyinka sida CMP iyo DIFF. Waa muhiim in la ogaado in FOUP-yada PRD loo isticmaali karo ujeeddooyinka ENG iyo MON labadaba, noocyada ENG-na waxaa loo isticmaali karaa MON, laakiin hawlgalka soo noqnoqda wuxuu keenaa khataro tayo leh.
Iyadoo loo eegayo heerka wasakhowga, FOUP-yada waxaa loo qaybin karaa FE FOUP (habka hore, bilaa bir ah), BE FOUP (habka dambe, waxa ku jira bir), iyo kuwa ku takhasusay hababka birta gaarka ah sida NI FOUP, CU FOUP, iyo CO FOUP. FOUP-yada hababka kala duwan waxaa badanaa lagu kala saaraa midabka gacanta dhinaca ama looxyada albaabka. FOUP-yada ka imanaya hababka hore waxaa loo isticmaali karaa hababka dambe, laakiin FOUP-yada dambe waa in aan waligood loo isticmaalin hababka hore, maadaama tani ay sababi karto khataro wasakhayn.
Iyada oo ah shirkad muhiim u ah wax soo saarka semiconductor-ka, FOUP, iyada oo loo marayo otomaatig sare iyo xakamaynta wasakhowga adag, waxay hubisaa badbaadada iyo nadaafadda buskudka inta lagu jiro habka wax soo saarka, taasoo ka dhigaysa kaabayaal aan lagama maarmaan u ah buskudka casriga ah ee buskudka.
Gunaanad
XKH waxay ka go'an tahay inay macaamiisha siiso xalal aad loo habeeyey oo Front-Opening Unified Pod (FOUP), iyadoo si adag u raacaysa shuruudahaaga gaarka ah ee habka iyo qeexitaannada isku-xirka qalabka. Annagoo ka faa'iideysanayna tignoolajiyada agabka ee horumarsan iyo hababka wax soo saarka saxnaanta, waxaan hubineynaa in badeecad kasta oo FOUP ah ay bixiso hawo-qaboojin, nadiifin, iyo xasillooni farsamo oo heer sare ah. Kooxdayada farsamada waxay leedahay khibrad warshadeed oo qoto dheer, iyagoo bixiya taageero wareeg nololeed oo dhammaystiran - laga bilaabo la-tashiga xulashada iyo hagaajinta qaab-dhismeedka ilaa nadiifinta iyo dayactirka - hubinta is-dhexgal aan kala go 'lahayn iyo iskaashi hufan oo u dhexeeya FOUP iyo Nidaamkaaga Maareynta Agabka ee Iswada (AMHS) iyo sidoo kale qalabka wax lagu farsameeyo. Waxaan si joogto ah u mudnaanta siinnaa badbaadada wafers-ka iyo kor u qaadista wax soo saarka inay yihiin yoolalkeenna asaasiga ah. Iyada oo loo marayo alaabada cusub iyo adeegyada farsamada ee dhammaystiran, waxaan bixinnaa dammaanad adag oo ku saabsan hababka wax soo saarka semiconductor-kaaga, ugu dambeyntiina waxaan kor u qaadaynaa hufnaanta wax soo saarka iyo wax soo saarka wax soo saarka.
Waqtiga boostada: Sebteembar-08-2025