Tusmada Tusmada
1. Dulmarka iyo Hawlaha Muhiimka ah ee FOUP
2. Qaab-dhismeedka iyo Astaamaha Nakhshad ee FOUP
3. Kala-saarista iyo Tilmaamaha Codsiga ee FOUP
4.Howlaha iyo Muhiimadda FOUP ee Soo saarista Semiconductor
5. Caqabadaha Farsamada iyo Horumarka Mustaqbalka
6.XKH's Solutions Customized and Service Support
Habka wax-soo-saarka semiconductor-ka, Furitaanka Midaysan ee Hore (FOUP) waa weel muhiim ah oo loo isticmaalo ilaalinta, raridda, iyo kaydinta marawaxadaha. Gudaheedu waxa uu qaadi karaa 25 xabbo oo wafers 300mm ah, qaybaha ugu muhiimsanna waxa ka mid ah weel hore loo furay iyo albaab u go'ay in la furo oo la xidho. FOUP waa sidaha xudunta u ah nidaamka gaadiidka otomaatiga ah ee gudaha 12 inch maraqyada waferka. Sida caadiga ah waxaa lagu raraa xaalad xiran waxayna furtaa kaliya marka lagu riixo dekedda raritaanka qalabka, taas oo u oggolaanaysa waferrada in lagu wareejiyo qalabka rarka/dejinta.
Naqshadeynta FOUP waxay ku habboon tahay shuruudaha deegaanka yar yar. Waxay leedahay boosaska dambe ee galinta wafer, daboolkana waxaa si gaar ah loogu talagalay inuu la mid yahay xajinta furaha. Robots-ka-qabashada wafer-ku waxay ku shaqeeyaan jawi hawo nadiif ah oo heerka 1 ah, iyaga oo hubinaya in marawaxadaha aanay wasakhayn inta lagu jiro gudbinta. Intaa waxa dheer, FOUP waxa loo kala wareejiyaa qalabka habsocodka iyada oo loo sii marayo hab wax-ku-qabasho oo toos ah (AMHS). Marxaladaha waferka ee casriga ahi waxay badiyaa u adeegsadaan hababka tareenada sare ee gaadiidka, halka qaar yar oo ka mid ah marada da'da ah ay isticmaali karaan baabuurta la hagayo ee dhulka ku salaysan (AGVs).
FOUP-ku kaliya ma saamaxdo wareejinta wafer-ta tooska ah laakiin sidoo kale waxay u adeegtaa shaqada kaydinta. Sababo la xiriira tillaabooyinka wax soo saarka ee tirada badan, waferrada waxay qaadan karaan bilo si ay u dhammaystiraan dhammaan socodka hannaanka. Marka lagu daro mugga wax-soo-saarka bilaha ah ee sarreeya, tani waxay ka dhigan tahay in tobanaan kun oo wafers ah oo ku dhex jira maraqa ay si joogto ah ugu jiraan gaadiidka ama kaydinta ku meel gaarka ah wakhti kasta. Inta lagu jiro kaydinta, FOUP-yada waxaa si xilliyo ah lagu nadiifiyaa nitrogen si looga ilaaliyo wasakhda inay la xiriiraan maraqyada, iyadoo la hubinayo hanaan wax soo saar oo nadiif ah oo la isku halayn karo.
1. Hawlaha iyo Muhiimadda FOUP
Shaqada udub-dhexaadka ah ee FOUP waa inay ka ilaaliso maraqyada shoogga dibadda iyo wasakheynta, gaar ahaan ka fogaanshaha saameynta wax-soo-saarka inta lagu jiro wareejinta. Waxay si wax ku ool ah uga hortagtaa qoyaanka iyada oo loo marayo habab ay ka mid yihiin nadiifinta gaaska iyo Xakamaynta Hawada Deegaanka (LAC), iyada oo hubinaysa in mareegaha ay ku sii jiraan xaalad ammaan ah iyadoo la sugayo tallaabada soo-saarka xigta. Nidaamkeeda xiran iyo kantaroolka ayaa u oggolaanaya kaliya xeryahooda lagama maarmaanka ah iyo walxaha inay galaan, si weyn u yareynaya saameynta xun ee VOCs, ogsijiinta, iyo qoyaanka wafersyada.
Maadaama FOUP ay si buuxda ugu raran tahay 25 wafer uu miisaankiisu noqon karo ilaa 9 kiilogaram, gaadiidkeedu waa in uu ku tiirsanaadaa Nidaamka Maaraynta Qalabka Automated (AMHS). Si taas loo fududeeyo, FOUP-ka waxa loo qaabeeyey isku-dhafyo kala duwan oo taargooyin isku xidhan ah, biinanka, iyo godadka, waxaana lagu qalabeeyay summada elektiroonigga ah ee RFID si fudud loogu aqoonsan karo loona kala saari karo. Maarayntan otomaatiga ah waxay u baahan tahay ku dhawaad ma jiro hawlgal gacanta ah, taasoo si weyn u yaraynaysa heerka khaladka iyo kor u qaadida badbaadada iyo saxnaanta habka wax soo saarka.
2. Qaab dhismeedka iyo kala soocida FOUP
Cabbirrada caadiga ah ee FOUP waa qiyaastii 420 mm ballac, 335 mm qoto dheer, iyo 335 mm oo dherer ah. Qaybaheeda ugu muhiimsan ee qaabdhismeedka waxaa ka mid ah: OHT sare (madaxa likaha) ee gaadiidka sare ee kor u qaadista; Albaabka hore ee gelitaanka wafer qalabka; Gacan-qabsiga dhinacyada, oo inta badan midabaysan si loo kala saaro aagagga hab-socodka leh heerarka faddaraynta ee kala duwan; aagga kaadhka lagu dhejinayo kaadhadhka fariinta; iyo summada hoose ee RFID oo u adeegta sida tilmaanta gaarka ah ee FOUP, u oggolaanaysa qalabka iyo kor-u-qaadayaasha inay aqoonsadaan. Saldhiggu waxa kale oo uu ku qalabaysan yahay afar godadka aqoonsiga iyo meelaynta si loogu waafajiyo agabka iyo kala soocidda aagagga hab-socodka.
Iyada oo ku saleysan adeegsiga, FOUP-yada waxaa loo kala saaraa saddex nooc: PRD (wax soo saarka), ENG (waferrada injineernimada), iyo MON (waferrada kormeerayaasha). PRD FOUPs waxaa loo isticmaali karaa wax soo saarka wax soo saarka, noocyada ENG waxay ku haboon yihiin R&D ama tijaabooyinka, iyo noocyada MON waxay u heellan yihiin socodsiinta la socodka tillaabooyinka sida CMP iyo DIFF. Waxaa muhiim ah in la ogaado in PRD FOUPs loo isticmaali karo labadaba ujeedooyinka ENG iyo MON, iyo noocyada ENG waxaa loo isticmaali karaa MON, laakiin qalliinka ka soo horjeeda ayaa keenaya khataro tayo leh.
Waxaa lagu kala saaraa heerka faddaraynta, FOUPs waxa loo qaybin karaa FE FOUP (habraaca hore ee-dhamaadka, biraha-free), BE FOUP (habraaca dambe-dhamaadka, ka kooban biraha), iyo kuwa ku takhasusay hababka biraha gaarka ah sida NI FOUP, CU FOUP, iyo CO FOUP. FOUP-yada hababka kala duwan ayaa sida caadiga ah lagu kala soocaa midabka gacan-qabsiga dhinaca ama dalalka albaabada. FOUP-yada habsocodyada-dhamaadka hore waxa loo isticmaali karaa hababka dambe-dhamaadka, laakiin FOUP-yada-dhamaadka-dhamaadka waligood waa in aan loo isticmaalin hababka-dhamaadka hore, sababtoo ah tani waxay keeni kartaa khataro faddarayn.
Sida furaha wax-soo-saarka semiconductor-ka, FOUP, iyada oo loo marayo otomaatig sare iyo xakamaynta wasakhda adag, waxay hubisaa badbaadada iyo nadaafadda maraqyada inta lagu jiro habka wax soo saarka, taas oo ka dhigaysa kaabayaasha lagama maarmaanka ah ee dharka waferka casriga ah.
Gabagabo
XKH waxaa ka go'an in ay macaamiisha siiso xalal si heer sare ah loo habeeyey ee Furitaanka Mideysan ee Pod (FOUP), iyadoo si adag u raacaysa shuruudaha habraacaaga gaarka ah iyo qeexitaanka qalabkaaga. Ka faa'iidaysiga tignoolajiyada agabka horumarsan iyo hababka wax-soo-saarka saxda ah, waxaanu hubinaynaa in badeecad kasta oo FOUP ay bixiso hawo-qaadasho gaar ah, nadaafad, iyo xasillooni farsamo. Kooxdayada farsamada ayaa leh khibrad qoto dheer oo warshadeed, oo bixisa taageero nololeed oo dhammaystiran - laga bilaabo la-talinta xulashada iyo hagaajinta qaabdhismeedka illaa nadiifinta iyo dayactirka - hubinta is-dhexgalka aan fiicnayn iyo iskaashiga hufan ee ka dhexeeya FOUP iyo Nidaamka Maareynta Qalabka Automated (AMHS) iyo sidoo kale qalabka habaynta. Waxaanu si joogto ah u mudnaan siinaa badbaadada waferrada iyo kobcinta wax-soo-saarka sida ujeedooyinkayaga asaasiga ah. Iyada oo loo marayo alaabada hal-abuurka leh iyo adeegyada farsamada oo dhan, waxaan ku siineynaa dammaanad adag habka wax-soo-saarka semiconductor, ugu dambeyntii kor u qaadista waxtarka wax-soo-saarka iyo wax-soo-saarka badeecada.
Waqtiga post: Seb-08-2025