Daaqadaha Sapphire Optical ee la habeeyey ee Nadiifinta Sare leh ≥90%
Xuduudaha farsamada
| Shay | Daaqadda Indhaha |
| Alaab | BK7, JGS1, UV Silica oo la isku daray, Sapphire iwm. |
| Cabbirka | 1mm-300mm |
| Dulqaadka cabbirka | ±0.05mm |
| Tayada dusha sare | 20-10~60-40 |
| Fidsanaan dusha sare ah | 1/4 ~ 1/8 |
| Furfurnaan cad | ka sarreeya 90% |
| Dahaarka | 200-4000nm |
| Codsiga | Laser, gudbinta iftiinka, bandhig, iwm. |
Astaamaha Muhiimka ah
1. La qabsiga Deegaanka ee Xad-dhaafka ah
Daaqadaha indhaha ee Sapphire waxay muujiyaan waxqabad heer sare ah oo leh dhibic dhalaalaysa oo ah 2053°C, iyagoo ilaalinaya hufnaanta qaab-dhismeedka jawiga hawlgalka ee joogtada ah ee 1000°C. Xasilloonida kuleylkan waxaa suurtageliya isku-dhafka ballaarinta kulaylka (CTE) ee aadka u hooseeya ee 5.3×10⁻⁶/K oo ku teedsan dhidibka C, oo si weyn uga sarreeya muraayadaha indhaha ee caadiga ah. Kiimiko ahaan, daaqadaha indhaha ee sapphire waxay muujiyaan dabacsanaan la yaab leh, iyagoo iska caabinaya dhammaan asiidhyada xooggan (marka laga reebo HF) iyo alkalis, taasoo ka dhigaysa kuwo ku habboon qalabka wax lagu farsameeyo kiimikada iyo codsiyada badda. Farsamo ahaan, daaqadahani waxay ku faanaan xoog dabacsan oo ka badan 1000MPa (5-8 jeer ka xoog badan galaaska indhaha ee caadiga ah) oo leh iska caabin saameyn oo aad u fiican.
2. Faa'iidooyinka Waxqabadka Indhaha
Daaqadaha indhaha ee Sapphire waxay bixiyaan gudbinta ka badan 80% oo ku baahsan baaxad ballaaran oo muuqaal ah (200-5500nm oo dhumucdiisu tahay 2mm). Iyada oo loo marayo jihada kiristaalka ee la hagaajiyay (tusaale ahaan, dhidibka C-da ee ku toosan waddada iftiinka), saameynta birefringence si wax ku ool ah ayaa loo yareeyaa. Tayada dusha sare waxay buuxisaa shuruudaha indhaha ee adag iyadoo fidsanaan λ/10 ah 633nm iyo qallafsanaanta dusha sare <0.5nm RMS.
3. Awoodaha Wax Soo Saarka ee Sare
Daaqadahayaga indhaha ee sapphire-ka waxay taageeraan habaynta qaab-dhismeedka weyn (> dhexroorka 300mm) iyo joomatari isku dhafan oo ay ku jiraan qaab-dhismeedyada aspheric iyo kuwa jaranjarada ah. Tiknoolajiyada shaabadeynta geeska ee gaarka ah waxay gaartaa heerarka daadinta <1×10⁻⁹Pa·m³/s ee codsiyada faakuumka. Iyada oo la adeegsanayo dahaarka kaarboon (DLC) oo u eg dheeman, heerka dhaawaca ee laysarka uu keeno (LIDT) wuxuu gaaraa 15J/cm² (1064nm, 10ns pulses).
Codsiyada Aasaasiga ah
1. Difaaca & Hawada Sare
Daaqadaha indhaha ee Sapphire waxay u adeegaan sida godad gantaallo ah, iyagoo u adkeysanaya shoogga kulaylka daran (>1000°C) inta lagu jiro duulimaadka hypersonic. Noocyada heerka hawada sare waxay damaanad qaadayaan in ka badan 15 sano oo cimri adeeg orbital ah oo ku saabsan codsiyada dayax-gacmeedka.
2. Qalabka Warshadaha
Sameynta semiconductor-ka, daaqadaha indhaha ee safayr waxay u shaqeeyaan sidii meelo u adkaysta balaasmaha ee qolalka etch iyo CVD. Endoscope-yada heerkulka sare leh waxay daaqadahan u isticmaalaan sawir-qaadis cad oo ku yaal jawiga foornada 1500°C.
3. Qalabka Sayniska
Daaqadaha indhaha ee safayr-ka ah ee saafiga ah (<5ppm wasakhda) waxay yareeyaan nuugista raajada ee khadadka isku-dhafka ah. Nidaamkooda aan tooska ahayn ee hooseeya wuxuu ilaaliyaa daacadnimada garaaca femtosecond ee nidaamyada laysarka aadka u degdega ah.
4. Qalabka Ganacsiga
Qalabka biyaha hoostooda ku jira ee badda qoto dheer waxay isticmaalaan daaqado indhaha ah oo safayr ah oo loo qiimeeyay qoto dheer oo ah 6000m (>60MPa). Kaamirooyinka taleefannada casriga ah waxay daaqadahaan ku daraan dabool ilaalin ah, iyagoo ka faa'iideysanaya iska caabbinta xoqidda ee Mohs 9 si loo kordhiyo cimriga.
Daaqadaha indhaha ee Sapphire waxay sii wadaan inay ballaariyaan codsiyadooda iyagoo horumarin ku sameynaya qaab-dhismeedka waaweyn, joomatari adag, iyo sifooyin waxqabad oo la xoojiyay, iyagoo xoojinaya booskooda oo ah qaybo muhiim ah oo ka mid ah warshadaha tiknoolajiyada sare.
Adeegyada XKH
Madal adeeg oo dhammaystiran oo XKH ah ayaa isku daraysa khibrad wax soo saar casri ah oo leh taageero farsamo oo adag si loo bixiyo xalal daaqado indhaha ah oo safayr ah oo dhammaystiran ilaa dhammaad ah. Qaybta wax soo saarka ee gaarka ah waxay bixisaa habayn ku salaysan sawir oo leh awoodo beddelka faylka 2D/3D oo dhammaystiran, oo ay weheliso adeegyada hagaajinta Naqshadeynta Warshadaha (DFM) oo yareeya khataraha wax soo saarka iyo kharashyada. Waxaan ilaalinaa awoodaha tijaabinta degdega ah ee hormuudka ka ah warshadaha, annagoo bixinayna muunado shaqeynaya Φ100mm 5 maalmood gudahood si loo dedejiyo wareegyada horumarinta badeecadaha. Daawaynta shaqada ee horumarsan waxaa ka mid ah dahaarka saxda ah ee gudbinta oo leh iska caabin xaashi ah oo laga beddeli karo 10-1000Ω/□ codsiyada ilaalinta EMI, oo ay weheliso filimada ka hortagga ceeryaanta ee gaarka ah ee ilaaliya hufnaanta indhaha ee deegaannada qoyaanka sare leh.
Kaabayaasha taageerada farsamada waxay ka kooban yihiin koox injineernimo oo u heellan adeegsiga barnaamijka Zemax iyo CodeV si ay u qaabeeyaan waxqabadka nidaamka una saadaaliyaan dhaqanka kulaylka/farsamada xaaladaha hawlgalka. Shaybaarkayaga ogaanshaha walxaha, oo ku qalabaysan mikroskoobka elektaroonigga ee iskaanka (SEM) iyo spectroscopy-ga raajada ee kala firdhisan (EDS), wuxuu bixiyaa falanqaynta cilladaha asalka ah si loo hagaajiyo isku halaynta. Adeegyada xaqiijinta deegaanka waxaa ka mid ah tijaabooyinka wareegga kulaylka ee aadka u daran (-196℃ ilaa 800℃) iyo soo-gaadhista buufinta milixda 500-saacadood ah sida ku cad heerarka MIL-STD-810G, taasoo hubinaysa waarta qaybaha xaaladaha hawlgalka ee adag.
Nidaamyada hubinta tayada waxay hirgeliyaan raad-raac buuxa oo walxaha ah laga bilaabo boule crystal ilaa badeecad dhammaystiran, iyadoo qayb kasta ay la socoto dukumentiyo shahaado oo dhammaystiran. Awoodaha metrology-ga casriga ah waxaa ka mid ah interferometry-ka wareegga 4D ee xaqiijinta saxnaanta dusha sare ee λ/50, interferometry-ka iftiinka cad-cad ee gaaraya xallinta qallafsanaanta dusha sare ee 0.1nm, iyo falanqaynta spectrophotometric oo daboolaysa baaxadda spectral ee 190-3300nm si loo garto gudbinta/milicsiga.
Adeegyada qiimaha lagu daray waxay wax ka qabtaan shuruudaha codsiga gaarka ah, oo ay ku jiraan xalalka isku-dhafka faakuumka oo muujinaya geesaha birta leh ee leh biraha hermetic-ka ah ee nidaamyada faakuumka aadka u sarreeya (UHV). Adeegyada xakamaynta dheecaanka elektaroonigga ah (ESD) waxay u habeeyaan iska caabbinta dusha sare ee u dhaxaysa 10⁶-10⁹Ω si looga hortago ururinta dallacaadda qalabka xasaasiga ah. Dhammaan qaybaha waxay maraan baakadda kama dambaysta ah ee jawiga qolka nadiifka ah ee Fasalka 100, iyadoo la adeegsanayo tirinta walxaha ikhtiyaariga ah iyo baakadaha faakuumka lagu dubay ee loogu talagalay shuruudaha nadaafadda heerka semiconductor-ka.









